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BHF濃度計 CS-137

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更新時間：2022-08-12 14:21:31瀏覽次數(shù)：246次

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堀場儀器（上海）有限公司

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產(chǎn)品簡介

BHF濃度計 CS-137

詳細介紹

概要
規(guī)格

概要

CS-137高精度化學(xué)藥液濃度計專為半導(dǎo)體制造時清洗制程中所使用的BHF溶液而設(shè)計。實現(xiàn)了過去所沒有的高速響應(yīng)性和小巧化，可用于監(jiān)測硅氧化膜的蝕刻以及晶片表面的微粒清除作業(yè)時所使用的BHF溶液(NH4F/HF/H2O)中的各成分濃度。依據(jù)濃度計的輸出而進行的反饋控制，可以確保BHF溶液的濃度保持在允許范圍內(nèi)，同時，還可以避免不必要的藥液更換工作。

特征

監(jiān)測周期大約為3秒，支持300mm工藝的濃度管理。

實現(xiàn)了以大約3秒這樣短的測量周期，大幅提高了濃度的實時跟蹤性。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時反饋濃度信息。

小巧設(shè)計有利于清洗裝置節(jié)省空間

底面面積只有原先的2/3(*)左右，這樣的小巧化設(shè)計有利于清洗裝置節(jié)省空間?？梢院苋菀椎亟M裝到清洗裝置中。
*與本公司產(chǎn)品CS-327比較

通過減少清洗工藝中的批次不良，提高產(chǎn)量

通過濃度計的信號輸出，進行BHF溶液的補給控制，從而實現(xiàn)高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而推進產(chǎn)量的全面提高。

全自動監(jiān)測與簡易控制

用戶只需引入BHF溶液即可。監(jiān)測是全自動方式，因此開始監(jiān)測后不需要進行任何控制。另外，由于參照光譜測量時使用的是空氣，也可以測量水的濃度，從而可以跟蹤水因溶液蒸發(fā)和附著到晶圓而應(yīng)起的濃度變化。這樣有利于二氧化硅的調(diào)整控制。

通過采取全面的氣泡對策，可監(jiān)測高溫樣品

在脫泡槽中分離氣泡，在監(jiān)測過程中進一步利用電磁閥把氣泡混入監(jiān)測單元內(nèi)的發(fā)生次數(shù)抑制在限度。并且，如果是冷卻器一體型產(chǎn)品，則可以直接倒入高溫度樣品至濃度計。溫度補償將自動進行。

采用DC24V，實現(xiàn)高安全性

電源采用DC24V低壓電，提高了安全性以避免觸電事故的發(fā)生。并且，由于內(nèi)置漏水傳感器，在發(fā)生漏水時可以切斷BHF溶液的供應(yīng)等，采取緊急措施。

規(guī)格

型號		CS-137-2503	CS-137-1003
監(jiān)測對象		BHF(氫酸/氟化銨溶液)
測量原理		吸收分光譜測定法
濃度計算的原理		溫度補償型多變量解析法
量程		氟化銨：15.0?25.0% 氫氟酸：0.00?3.00% 水：72.0?85.0%	氟化銨：0.0?10.0% 氫氟酸：0.00?3.00% 水：87.0?100.0%
再現(xiàn)性		氟化銨：±0.3% 氫氟酸：±0.25% 水：±1.0%	氟化銨：±0.3% 氫氟酸：±0.25% 水：±1.0%
藥液條件	溫度	20?30℃
	流量	20?60mL/min
	壓力	0.10?0.20MPa
檢測周期		最小約3秒
設(shè)置溫度		20?30℃
操作面板		1)溫度檢測值的顯示：氟化銨、氫氟酸、水 2)報警信號的顯示(氟化銨、氫氟酸)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限 3)報警信號值的設(shè)定(氟化銨、氫氟酸)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限
串行輸入		RS-232C 1)濃度數(shù)據(jù)：氟化銨、氫氟酸、水 2)報警信號值的設(shè)定(氟化銨、氫氟酸)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限
并行輸入		DC12?30V(光耦合器絕緣) 并行濃度報警(有效/無效)
并行輸出		開路集電極輸出為ON時電流：5mA；為OFF時的電壓：30V 1)報警信號的輸出(氟化銨、氫氟酸)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限 2)裝置異常(包括漏液在內(nèi)) 3)檢測中
模擬輸出		4?20mA(2輸出：NH4F濃度、HF濃度)
電源		DC24V±10%， 2A
外形尺寸		205(W)×329(D)×269(H)mm
質(zhì)量		約11kg
連接配管尺寸		導(dǎo)入用、排出用：外徑為6mm(內(nèi)徑為4mm)
配管接頭		Nippon Pillar Super型