產(chǎn)品名稱

混氣系統(tǒng)3路浮子--GSL-3F

浮子流量計(jì)

三種不同量程的浮子流量計(jì)，控制精度4%。

A:10-100ml/min

B:16-160ml/min

C:25-250ml/min

機(jī)械壓力表（混氣罐）

-0.1-0.15MPa

接頭和氣管

在混氣系統(tǒng)右側(cè)安裝三個(gè)氣體進(jìn)口

兩通道氣體流入氣體混合罐，另一個(gè)通道不通過(guò)氣體混合管。

兩個(gè)出口（可連接管式爐）安裝在混氣系統(tǒng)的左側(cè)（一路混合氣體和一路單獨(dú)的氣體）。

12"長(zhǎng)1/4"直徑的聚四氟管及快插接頭。

真空針閥

采用SS304不銹鋼。

安裝在混氣系統(tǒng)的右側(cè)。

安裝帶剎車的轉(zhuǎn)向輪

外形尺寸:600L×600W×650H mm

可選

CVD 或者PECVD 液相氣體發(fā)生器

凈重

約75kg

質(zhì)保期

一年保修，終身技術(shù)支持。

特別提示：1、耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

免責(zé)聲明

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