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帶超聲霧化以及進(jìn)料系統(tǒng)的1200℃立式爐-OTF-1200X-VT-USPA

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號OTF-1200X-VT-USPA

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地

更新時(shí)間:2022-02-23 11:07:19瀏覽次數(shù):156次

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OTF-1200X-VT-USPA是一款帶超聲霧化以及進(jìn)料系統(tǒng)的雙溫區(qū)立式管式爐,其爐管直徑可制作為100mm

OTF-1200X-VT-USPA是一款帶超聲霧化以及進(jìn)料系統(tǒng)的雙溫區(qū)立式管式爐,其爐管直徑可制作為100mm。它可以將氣體或者溶液霧化后噴入加熱爐管中,因此也可以用來制備PVD、CSS或CVD涂層。采用PID方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié),可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1 ℃。爐體下端安裝有一移動架以方便移動。

技術(shù)參數(shù)


產(chǎn)品名稱

帶超聲霧化以及進(jìn)料系統(tǒng)的1200℃立式爐-OTF-1200X-VT-USPA

管式爐系統(tǒng)


雙溫區(qū)立式管式爐可用于加熱樣品。

容積式喂料器可將固態(tài)粉料不斷送入管式爐中進(jìn)行連續(xù)燒結(jié)或熱處理。

超聲霧化模塊可利用低振動能量將液體霧化,之后利用自重或低壓壓縮空氣噴入管式爐中。


立式管式爐 容積喂料器 超聲霧化模塊

工作功率

總功率6KW 每個(gè)溫區(qū):3KW

工作電源

AC 208-240單相,50/60Hz

工作溫度

1200℃(<1hr)每個(gè)溫區(qū)

連續(xù)工作溫度

1100℃每個(gè)溫區(qū)

加熱速率

≤20℃/min

控溫精度

±1℃

爐管尺寸和材質(zhì)

包含一長度為1000mm的石英管。

OD:100mm,ID:95mm。

氧化鋁管堵可懸掛在頂部法蘭處避免熱輻射。

爐管升級:如客戶另付費(fèi)用,可用莫來石管(60mm-100mm)代替石英管,管式爐的使用溫度可升至1250℃

加熱區(qū)長度

200mm(溫區(qū)1)

200mm(溫區(qū)2)

總加熱長度:400mm

恒溫區(qū)長度

300mm(兩溫區(qū)設(shè)置同樣溫度)

溫控系統(tǒng)

采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序。

具有超溫及斷偶報(bào)警功能。

通信端口:RS485。

可安裝PC控制軟件對數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)采集。


真空密封法蘭


爐管兩端裝有不銹鋼密封法蘭,真空計(jì)和閥門。

氣體出氣口與KF25D相連接。

氣體進(jìn)氣口與6.35軟管相連接。

上端密封法蘭內(nèi)部焊有不銹鋼勾,用于客戶懸掛樣品。

如想增加抽氣速率以便獲得較高的真空,建議您將標(biāo)配的軟管接頭更換成KF25轉(zhuǎn)接頭(如左圖)。

如需要子啊惰性或還原性氣體條件下使用,建議您將標(biāo)配的軟管接頭更換成VCR雙卡套接頭(如左圖)。

真空度

10E-2 torr(用機(jī)械泵)

10E-5 torr(用分子泵)

漏氣率<5 mTorr/min

加熱元件

1300℃摻鉬鐵鉻鋁

設(shè)備尺寸

550 L×380 W×520 H mm(不含移動架)

600 L×600 W×1200 H mm(包含移動架)

凈重

約80kg(不含移動架)

運(yùn)輸尺寸

48"(L)×40"(W)×72"(H)

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(相關(guān)耗材除外,如爐管加熱元件密封圈易耗件)

質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證。

所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA認(rèn)證。

若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證


應(yīng)用注意事項(xiàng)(為滿足客戶應(yīng)用要求,可另加費(fèi)用為您定制特殊法蘭)

客戶在使用前可能會校準(zhǔn)溫度來獲得準(zhǔn)確的爐內(nèi)溫度。

請點(diǎn)擊下圖來了解如何利用立式爐在真空或者氣氛環(huán)境下進(jìn)行樣品的淬火。

方法1:采用傳統(tǒng)的剪斷懸掛線的方式是的樣品自由落下(如圖1、2)

方法2:采用電磁釋放的方式使得樣品自由落下(如圖3、4)


圖1 圖2 圖3 圖4

可定制一樣品基座,將本系統(tǒng)升級為—HPCVD(混合物理化學(xué)氣沉積)爐(圖5)

可對尺寸小于1英寸的樣品進(jìn)行釬焊(在樣品上方加一載重)(圖6)

3溫區(qū)立式爐也可以用于該系統(tǒng)中(圖7)


圖5 圖6 圖7

警告

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa;

由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會更加精確安全;

當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài);

進(jìn)入爐管的氣壓流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊;

石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃;

對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)。

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