OTF-1200X-VT-USPA是一款帶超聲霧化以及進(jìn)料系統(tǒng)的雙溫區(qū)立式管式爐,其爐管直徑可制作為100mm。它可以將氣體或者溶液霧化后噴入加熱爐管中,因此也可以用來制備PVD、CSS或CVD涂層。采用PID方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié),可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1 ℃。爐體下端安裝有一移動架以方便移動。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱 帶超聲霧化以及進(jìn)料系統(tǒng)的1200℃立式爐-OTF-1200X-VT-USPA 管式爐系統(tǒng) 雙溫區(qū)立式管式爐可用于加熱樣品。 容積式喂料器可將固態(tài)粉料不斷送入管式爐中進(jìn)行連續(xù)燒結(jié)或熱處理。 超聲霧化模塊可利用低振動能量將液體霧化,之后利用自重或低壓壓縮空氣噴入管式爐中。 立式管式爐 容積喂料器 超聲霧化模塊 工作功率 總功率6KW 每個(gè)溫區(qū):3KW 工作電源 AC 208-240單相,50/60Hz 工作溫度 1200℃(<1hr)每個(gè)溫區(qū) 連續(xù)工作溫度 1100℃每個(gè)溫區(qū) 加熱速率 ≤20℃/min 控溫精度 ±1℃ 爐管尺寸和材質(zhì) 包含一長度為1000mm的石英管。 OD:100mm,ID:95mm。 氧化鋁管堵可懸掛在頂部法蘭處避免熱輻射。 爐管升級:如客戶另付費(fèi)用,可用莫來石管(60mm-100mm)代替石英管,管式爐的使用溫度可升至1250℃ 加熱區(qū)長度 200mm(溫區(qū)1) 200mm(溫區(qū)2) 總加熱長度:400mm 恒溫區(qū)長度 300mm(兩溫區(qū)設(shè)置同樣溫度) 溫控系統(tǒng) 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序。 具有超溫及斷偶報(bào)警功能。 通信端口:RS485。 可安裝PC控制軟件對數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)采集。 真空密封法蘭 爐管兩端裝有不銹鋼密封法蘭,真空計(jì)和閥門。 氣體出氣口與KF25D相連接。 氣體進(jìn)氣口與6.35軟管相連接。 上端密封法蘭內(nèi)部焊有不銹鋼勾,用于客戶懸掛樣品。 如想增加抽氣速率以便獲得較高的真空,建議您將標(biāo)配的軟管接頭更換成KF25轉(zhuǎn)接頭(如左圖)。 如需要子啊惰性或還原性氣體條件下使用,建議您將標(biāo)配的軟管接頭更換成VCR雙卡套接頭(如左圖)。 真空度 10E-2 torr(用機(jī)械泵) 10E-5 torr(用分子泵) 漏氣率<5 mTorr/min 加熱元件 1300℃摻鉬鐵鉻鋁 設(shè)備尺寸 550 L×380 W×520 H mm(不含移動架) 600 L×600 W×1200 H mm(包含移動架) 凈重 約80kg(不含移動架) 運(yùn)輸尺寸 48"(L)×40"(W)×72"(H) 質(zhì)保期 一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(相關(guān)耗材除外,如爐管加熱元件密封圈易耗件) 質(zhì)量認(rèn)證 CE認(rèn)證。 所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA認(rèn)證。 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證 應(yīng)用注意事項(xiàng)(為滿足客戶應(yīng)用要求,可另加費(fèi)用為您定制特殊法蘭) 客戶在使用前可能會校準(zhǔn)溫度來獲得準(zhǔn)確的爐內(nèi)溫度。 請點(diǎn)擊下圖來了解如何利用立式爐在真空或者氣氛環(huán)境下進(jìn)行樣品的淬火。 方法1:采用傳統(tǒng)的剪斷懸掛線的方式是的樣品自由落下(如圖1、2) 方法2:采用電磁釋放的方式使得樣品自由落下(如圖3、4) 圖1 圖2 圖3 圖4 可定制一樣品基座,將本系統(tǒng)升級為—HPCVD(混合物理化學(xué)氣沉積)爐(圖5) 可對尺寸小于1英寸的樣品進(jìn)行釬焊(在樣品上方加一載重)(圖6) 3溫區(qū)立式爐也可以用于該系統(tǒng)中(圖7) 圖5 圖6 圖7 警告 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa; 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會更加精確安全; 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài); 進(jìn)入爐管的氣壓流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊; 石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃; 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)。