名稱

1200℃5英寸三溫區(qū)旋轉(zhuǎn)CVD管式爐--OTF-1200X-5L-R-CVD

爐體結(jié)構(gòu)

采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)。

高純氧化鋁纖維材料作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命）。

一個(gè)直流電機(jī)驅(qū)動爐管轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)速可調(diào)。

爐體開啟式設(shè)計(jì)，方便更換爐管。

爐體可以傾斜，傾斜角度可調(diào)。

設(shè)有開門斷電功能，提高實(shí)驗(yàn)安全性。

基本參數(shù)

溫度：1100℃（1200℃<1h）。

建議升溫速率：≤10℃/min。

熱偶：K型熱偶

電源：AC 208-240V，50Hz 。

功率：4KW

加熱區(qū)長度：600mm，三溫區(qū)：150mm+300mm+150mm。

爐管尺寸

異型石英管，內(nèi)部焊接有揚(yáng)料板，使粉體燒結(jié)更加充分和均勻。

尺寸：100 O.D×1200 L mm（異型管）

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁（表面涂有氧化鋯涂層，可以極大程度延長使用壽命）

溫控系統(tǒng)

兩個(gè)溫區(qū)分別有兩個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制。

包含一款YD518型溫度控制器。

PID自動控溫系統(tǒng)。

智能化30段可編程控制。

控溫精度：±1℃。

默認(rèn)DB9 PC通信連接端口。

通過MET認(rèn)證

可選購電腦溫度控制軟件（用于YD518P系列控制器）用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)。

爐體傾斜角度

可調(diào)范圍：-5°—25°

氣密配件

采用磁流體法蘭密封

進(jìn)氣系統(tǒng)

四通道精密氣體混合和輸送系統(tǒng)，配有觸摸屏，用于1-4種氣體CVD

注意：如果通入的是易燃易爆性氣體，必須將設(shè)備安裝在通風(fēng)柜中。

外形尺寸

設(shè)備尺寸：1950 L×600 W×1320 H mm

混氣系統(tǒng)：600 L×750 W×700 H mm

凈重

回轉(zhuǎn)爐：約130Kg

使用提示

此套設(shè)備可以配合本公司連續(xù)送料裝置來達(dá)到連續(xù)進(jìn)料的效果。

在收集粉末時(shí)需要在密封容器中傳送的情況下，可以在我公司購買與爐管一起安裝的密封裝置。這種裝置包括帶內(nèi)螺紋法蘭、柔性波紋管、直角管、帶有蝶形閥的容器和支撐架?？蛻艨梢院芎唵蔚膶в械y的收集罐與設(shè)備斷開鏈接，并在運(yùn)輸過程保持密封（圖三）

質(zhì)保期

一年保修，終身技術(shù)支持。

特別提示：1、耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍。

真空系統(tǒng)

通過機(jī)械泵可達(dá)到10E-2torr。

通過分析泵泵可達(dá)到10E-5torr

可選購一個(gè)冷真空阱，以避免真空泵造成污染。

國家

名稱：一種可傾斜式回轉(zhuǎn)爐。

編號：ZL-2011-2-0162234.8

質(zhì)量認(rèn)證

所有電器元件（>24V）都通過UL/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證

使用注意事項(xiàng)

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。

由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司購買減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa使用時(shí)會更加精確安全。

當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)。爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。

進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。

石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃。

對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。

免責(zé)聲明

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