OTF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是 一個(gè)特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專門為在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì),特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動(dòng)爐子實(shí)現(xiàn)快速加熱和冷卻。請(qǐng)點(diǎn)擊下圖觀看爐子的工作原理。
特點(diǎn):
雙管滑動(dòng)式1200℃四通道混氣CVD系統(tǒng)- OTF -1200X-4- C4LVS
雙石英管：外管直徑100mm ，懸掛的內(nèi)管直徑 80. 金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)生CVD反應(yīng)。2.雙管的真空密封法蘭：允許反應(yīng)氣體通過兩管之間（10mm間隙）發(fā)生反應(yīng)，冷卻氣體直接通入內(nèi) 管
雙石英管：外管直徑100mm ，懸掛的內(nèi)管直徑 80. 金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)生CVD反應(yīng)。2.雙管的真空密封法蘭：允許反應(yīng)氣體通過兩管之間（10mm間隙）發(fā)生反應(yīng)，冷卻氣體直接通入內(nèi) 管
3.四通道質(zhì)量流量計(jì)控制4路氣體。
4.配有KF25快接和波紋管的高速機(jī)械泵。
5.爐子底部裝有滑軌：爐子可以從一端滑向另一端，從而實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫.
技術(shù)參數(shù)
| 爐體 結(jié)構(gòu) | · 高純 Al2O3保溫材料，保證了爐膛有的溫度均勻性. · 爐子底部的冷卻風(fēng)扇保證了熱量正常對(duì)外釋放. · 密封法蘭系統(tǒng)全不銹鋼制作。 | |||||||||
| 電源 | 電源:208-240VAC, 50/60Hz, 單相, 2.5KW ( 20A 保險(xiǎn)絲) | |||||||||
| 加熱 溫度 | *高溫度: 1100°C 連續(xù)溫度: 1000°C | |||||||||
| 加熱區(qū) | 加熱區(qū)長(zhǎng)度: 440mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 120mm (±1°C) @400~1100°C 選擇: 雙溫區(qū)爐可獲得t 240mm 的恒溫區(qū)  | |||||||||
| 加熱 和 冷卻 速度 | *快的加熱和冷卻速度跟工作溫度有關(guān)， 請(qǐng)點(diǎn)擊下圖可以看出*快的加熱和冷卻速度隨溫度的變化而變化。 ( 在使用爐子之前，要校準(zhǔn)工作溫度和加熱、冷卻速度 ) | |||||||||
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| 加熱 | 冷卻 | |||||||||
| 石英管 | 外管: OD: 4"x ID: 3.8"X55" Length (OD100 x ID 96 x 1400, mm 內(nèi)管: OD:3.15: x ID x 2.95" x 55" Length (OD80 x ID 75 x 1500 mm ) | |||||||||
| 真空 法蘭 | · 一對(duì) SS304不銹鋼法蘭，通過用兩個(gè)高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空。 · 爐子底部裝有一對(duì)滑軌 · 爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端，實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻。 · 為了得到較快的加熱速度，可以先將爐子預(yù)熱，然后滑到放置樣品的位置。 · 為了獲得較快的冷卻的速度，把爐子滑向另一端，同時(shí)將冷卻氣體通入樣品所在的位置。
極限真空度: 10^-2 torr (機(jī)械泵) 10^-5 torr (分子泵) | |||||||||
| 溫控儀 | · 溫控儀:帶超溫保護(hù)和PID調(diào)節(jié)的 30 段程序控制。 · 控溫精度: +/-1°C | |||||||||
| 混氣 系統(tǒng) | 4路精密質(zhì)子流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制. · MFC 1范圍: 0~100 sccm · MFC 2范圍: 0~200 sccm · MFC 3范圍: 0~200 sccm · MFC 4范圍: 0~500 sccm 氣路: 4 路 流量精度: 0.2% 進(jìn)氣和出氣接口: 1/4" 卡套 一個(gè)混氣罐. 每路氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制。 通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量. 請(qǐng)看下圖 MFC 面板(點(diǎn)擊放大)  | |||||||||
| 真空泵 | · 安裝在移動(dòng)架底部的機(jī)械泵，真空度達(dá) 10-3 Torr. · 真空泵與手動(dòng)擋板閥之間用KF25 快接與不銹鋼波紋管連接 . · 數(shù)字真空表安裝在一端的法蘭上. · 選擇: 可以配分子泵，真空度達(dá) 10-5 Torr | |||||||||
| 作為基片用的25um厚的 銅箔 (選配） | 生長(zhǎng)石墨烯的銅箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)  | |||||||||
| 尺寸（mm) | 爐體: 550 x 380 x 520 移動(dòng)架: 600x600x597 | |||||||||
| 凈重 | 300 lb | |||||||||
| 保修期 | 一年質(zhì)保期 (耗材：如爐管，“O”型圈，和加熱元件等不在保修范圍內(nèi)） | |||||||||
| 認(rèn)證 |  CE 認(rèn)證 | |||||||||
環(huán)保在線