我們的等離子設(shè)備具有以下選裝件/配件 - 其在大多數(shù)情況下可以加裝 - 可用：

2.45 GHz-發(fā)生器（微波）

功率達(dá)到 0 - 850 瓦特，發(fā)生器擁有一個(gè) PC 接口。主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)榛罨?、清洗、蝕刻、半導(dǎo)體（前端）、半導(dǎo)體（后端）、等離子體聚合。

2 路 2 通方向閥用于液體計(jì)量

閥門用于針對性計(jì)量單體。

真空抽吸過濾器

防止真空泵被飛出的零部件損壞，其涂層防止受到污染。

條形碼讀取器

用于跟蹤批次。

加熱型腔室

該腔室可加熱至約 80 °C。溫度可以調(diào)節(jié)。其適用于限定的工藝條件和較高的蝕刻速率。

偏置電壓測量系統(tǒng)

偏置電壓測量系統(tǒng)是一種測量儀器，其適用于kHz 和 MHz 發(fā)生器。

蝶閥

為了對氣流進(jìn)行控制，使用了一個(gè)蝶閥，其在真空泵的吸氣管道內(nèi)部主要采用了真空技術(shù)。為此，需通過調(diào)節(jié)閥門來改變管道中的流動(dòng)阻力，該閥門會(huì)或多或少的封閉管道。

當(dāng)?shù)卣Z言的文件

文件是按照機(jī)器指令 89/392/EWG 進(jìn)行編制的。其并不適用德語和英語。該文件并不會(huì)自行隨附于設(shè)備，必須單獨(dú)訂購。

轉(zhuǎn)鼓

產(chǎn)品支架型用于裝載散裝件。

壓力計(jì)

Pirani 傳感器或者 Baratron 壓力指示器位于真空腔室中。

連續(xù)生產(chǎn)系統(tǒng)

用于在一條自動(dòng)化加工生產(chǎn)線中整合一臺(tái)低壓等離子設(shè)備。

標(biāo)準(zhǔn)備件套件或者 PFPE

備件套件包括：各 1 個(gè)夾緊環(huán)、1 個(gè)密封件、1 個(gè)不銹鋼波紋軟管（真空軟管）、1 塊窗玻璃、1 個(gè)夢密封條、10 個(gè)用于等離子設(shè)備的小型熔斷器，標(biāo)準(zhǔn)套件還包含 1 升用于真空泵的礦物油，PFPE 套件還包括 1 升用于真空泵的 PFPE 油。

標(biāo)簽打印機(jī)

在等離子處理之后自動(dòng)打印標(biāo)簽。

標(biāo)簽讀取器

用于對批次進(jìn)行跟蹤。

氣瓶架

固定于工作臺(tái)、架子或者墻壁條處。跨度為 70mm。固定張力皮帶，不得活動(dòng)。其適用于所有氣瓶規(guī)格。

氣體檢測儀（德爾格）

在工作場所使用時(shí)的額外安全選裝件。

半自動(dòng)控制

關(guān)于我們的各種控制變量的詳細(xì)說明，您可以在菜單項(xiàng)“等離子設(shè)備/控制/半自動(dòng)控制"下找到。

現(xiàn)場安裝您的等離子設(shè)備

該選項(xiàng)包括了我們服務(wù)人員的差旅時(shí)間、工作時(shí)間以及差旅費(fèi)。

腐蝕性氣體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)

閥門均為不銹鋼材質(zhì)，配管均為不銹鋼材質(zhì)。如果采用等離子體聚合法或者使用腐蝕性氣體，例如，NH₃, H₂O, CF₄, SF₆ 的時(shí)候，則具有強(qiáng)制性要求。

客戶的產(chǎn)品支架

標(biāo)準(zhǔn)情況下，我們的設(shè)備總是和一個(gè)產(chǎn)品支架一同交付的。附加或者其他設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu) - 用于實(shí)現(xiàn)等離子設(shè)備的使用 - 可在與 Diener electronic 公司協(xié)商之后制作完成。

噴漆/玻璃板套件（無 LABS 測試）

用于進(jìn)行油漆濕潤干擾測試的配件。供貨范圍：5 灌噴漆，每灌 400 ml。100 塊玻璃板，每塊  90 mm x 110 mm。

真空腔室慢速通風(fēng)裝置

通過一個(gè)過濾器對真空腔室進(jìn)行緩慢的通風(fēng)。這樣可以防止腔室中的小型零部件的急速旋轉(zhuǎn)。

真空腔室的慢速抽吸裝置

通過旁路閥對真空請示進(jìn)行緩慢的抽吸。這樣可以防止腔室中的小型零部件的急速旋轉(zhuǎn)。

較長的真空腔室 (Femto, Pico, Nano, ...)

真空腔室可以采用不銹鋼材質(zhì)、硼硅玻璃或石英玻璃材質(zhì)。腔室閉鎖件可選擇蓋子或者配有鉸鏈的門。真空腔室的長度取決于您對于等離子應(yīng)用的需要。請和我們聯(lián)系。

功率指示燈

顯示發(fā)生器的功率。模擬指示器-儀表。

OES - 光發(fā)射光譜儀

對等離子工藝進(jìn)行監(jiān)控，以確保質(zhì)量。檢測等離子工藝的最終產(chǎn)物。OES 只能和一個(gè) PC 控制型設(shè)備一同使用。

PCCE-控制系統(tǒng)

基于 Windows CE 環(huán)境，配有觸摸面板。關(guān)于我們的各種控制變量的詳細(xì)說明，您可以在菜單項(xiàng)“等離子設(shè)備/控制/PCCE 控制"下找到。

聚合配件

包括蒸發(fā)瓶、一個(gè)天平秤、計(jì)量泵、加熱器、可能還有支架。

工藝氣體-氣瓶

氧氣-氣瓶用作工藝氣體的連接，其為 2.5 和 10 升規(guī)格，氫氣-氣瓶的規(guī)格為 2 升，氬氣-氣瓶的規(guī)格為 5 升。 針對氣體供應(yīng)，需將特殊的運(yùn)輸條件考慮在內(nèi)。如果使用的是出租設(shè)備，則必須購買氣瓶。

RIE-電極

分為圓形和矩形兩種，均被不銹鋼材質(zhì)，可獲得較高的蝕刻速率。應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)楦飨虍愋院透飨蛲晕g刻。

安全閥

用于采用，例如，氫氣、乙炔...

專用電極和產(chǎn)品支架

請和 Diener electronic 公司就您個(gè)性化電極的確切結(jié)構(gòu)以及制作產(chǎn)品支架的其他材料方面進(jìn)行洽詢。

特殊法蘭 / 其他法蘭

如果需要用到的接口數(shù)量超過準(zhǔn)備好的接口數(shù)量，則可以使用特殊法蘭。

特殊真空腔室

按照 DIN 12198 標(biāo)準(zhǔn)，在我們的設(shè)備附近（觀察窗）進(jìn)行了紫外線輻射測量。結(jié)果：無害。特殊真空腔室具有圓形配蓋子的結(jié)構(gòu)，以及矩形配門（門配有鉸鏈）的結(jié)構(gòu)，其為鋁制結(jié)構(gòu)，還可以通過開孔直徑和內(nèi)部大小來進(jìn)行區(qū)分。請和我們聯(lián)系。

標(biāo)準(zhǔn)電極，圓形或者矩形

不銹鋼板/鋁板材質(zhì)，適用于標(biāo)準(zhǔn)等離子工藝。

熱蒸發(fā)器

適用于具有較低蒸汽壓力的基材。 杯口直徑：16 mm，杯容量： 0,1 l.屏蔽等離子效果，控制溫度（ 500 °C ）和溫度上升速度（可達(dá) 250 °C/min ）。需通過小法蘭結(jié)構(gòu)進(jìn)行連接。

不銹鋼材質(zhì)的真空腔室

不銹鋼材質(zhì)的真空腔室適用于標(biāo)準(zhǔn)等離子工藝。

真空泵泵座

含礦物油或者 PFPE 油的旋片泵或干運(yùn)行泵。供貨時(shí)泵已經(jīng)充滿了油。

全自動(dòng)控制

關(guān)于我們的各種控制變量的詳細(xì)說明，您可以在菜單項(xiàng)“等離子設(shè)備/控制/全自動(dòng)控制"下找到。

清洗袋

用于在清洗機(jī)中對小型零部件進(jìn)行預(yù)清洗。規(guī)格：500 mm x 300 mm. 最小訂購量：20 件 -

水冷系統(tǒng)

配有滾輪的水-氣-冷卻裝置，適用于移動(dòng)式應(yīng)用。通過泵保護(hù)電路的 2 個(gè)轉(zhuǎn)換觸點(diǎn)進(jìn)行無電位型連接。

清洗干燥器

用于在等離子處理之前對小型零部件進(jìn)行初步清洗。僅用于很臟的零部件。制造商： Miele: 型號 WT 2670 WPM.

水冷式產(chǎn)品支架-板件

水冷式板件安裝于腔室底部，供貨時(shí)還包含了水泵和水箱。其用于對熱敏感的零部件進(jìn)行冷卻。

其他軟件功能

軟件可隨時(shí)擴(kuò)展其他選項(xiàng)。請告知我們您的要求。

額外的氣體通道

針型閥： 我們的設(shè)備可以配備任何數(shù)量的針形閥。標(biāo)準(zhǔn)情況下，F(xiàn)emto 型等離子設(shè)備配備了 1 - 3 個(gè)，可按照要求配備更多針型閥。