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傅里葉紅外氣體分析儀

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更新時(shí)間：2022-07-06 13:53:18瀏覽次數(shù)：363次

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北京國(guó)科泰興科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

傅里葉紅外氣體分析儀廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控，氣體純度和組成分析，環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。

詳細(xì)介紹

MKS MultiGas? 6030傅里葉紅外氣體分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控，氣體純度和組成分析，環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。MultiGas? 6030能分析含有高達(dá)40%水的氣流，能同時(shí)分析和顯示多達(dá)30種氣體。分析儀儲(chǔ)存了校準(zhǔn)光譜，故省出了氣體筒的成本。另外，操作者也會(huì)發(fā)現(xiàn)MultiGas? 6030操作簡(jiǎn)便，易于維護(hù)。

MultiGas? 6030傅里葉紅外氣體分析儀由保護(hù)的2102傅利葉變換紅外制成分光計(jì)，高光通量取樣單元，專業(yè)分析軟件及獨(dú)立的定量光譜庫(kù)組成。MultiGas? 6030收集高分辨率的紅外光譜與定量光譜庫(kù)分析，提供絕大多數(shù)氣體及水蒸氣的高精度，高靈敏度測(cè)量。

特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)：

? 10ppb-99%靈敏度對(duì)于絕大多數(shù)有毒有害氣體

? 易于移動(dòng)從一處移到另一處，設(shè)置僅需幾分鐘

? 同時(shí)分析和顯示多達(dá)30種氣體

? 分析儀儲(chǔ)存了校準(zhǔn)光譜，省去了氣體筒的成本

? 取樣氣體在進(jìn)入分析室前加熱并維持恒定溫度

應(yīng)用：

? 煙囪監(jiān)測(cè)器

? 工藝監(jiān)測(cè)改進(jìn)和優(yōu)化

? 空氣環(huán)境分析

? 保護(hù)的線性檢測(cè)器，確保所有分析儀維持在相同的校準(zhǔn)條件下

? 頻率和分辨率診斷，確保校準(zhǔn)恒定

? 提供自動(dòng)溫度和壓力補(bǔ)償以確保分析精度

? 用戶操作簡(jiǎn)便軟件界面，稍加培訓(xùn)即可操作

? 氣體純度分析

? 燃燒排放監(jiān)測(cè)

? 選擇性硅整流催化還原性能監(jiān)測(cè)

光譜分析

Multigas的分析器有個(gè)具有定量和多功能的分析軟件，它能同時(shí)分析和報(bào)道許多混合物的濃度，這個(gè)能在個(gè)人電腦上運(yùn)行的軟件，能對(duì)分析器直接量測(cè)到的氣體溫度和壓力的變化進(jìn)行自動(dòng)修正。樣本的收集和分析在一秒內(nèi)完成，進(jìn)行瞬時(shí)分析。

整個(gè)數(shù)據(jù)整理過(guò)程中，MultiGas 軟件一邊計(jì)算SETUP里面選擇氣體的濃度，一邊不斷的收集和描繪光譜。顯示形式包括濃度歷史的圖表和列表形式，測(cè)得的光譜和殘余光譜。這個(gè)殘余光譜能被用來(lái)確定分析的誤差，使得QA/QC變得簡(jiǎn)單和真實(shí)。當(dāng)解決了所有被提及的光譜后，殘留光譜就描繪“剩余的” 光譜信息一次。一旦光譜被收集和保存，這些光譜可以在任何時(shí)候利用同樣或不同的零點(diǎn)設(shè)定進(jìn)行再工藝。

對(duì)應(yīng)環(huán)境和工藝監(jiān)控的特殊設(shè)計(jì)， 2102傅利葉變換紅外分光計(jì)是緊湊和粗糙的，能夠在0.5cm-1的光譜決議上操作，是可用的處理FTIR方式中速，靈敏和穩(wěn)定的！另外，它能在在惡劣環(huán)境下操作，具有對(duì)高溫，振動(dòng)和溫度變化的免

疫。更可貴的是，高速率的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)是標(biāo)準(zhǔn)的，為分析提供低噪音的紅外光譜。

這個(gè)分光計(jì)連接到一個(gè)小體積(200mL) 多變換，有5.11米有效通道的取得的氣室，這個(gè)氣室的設(shè)計(jì)結(jié)合了非球面的，非端正的鏡子，它能為傳統(tǒng)的多變換氣室提供兩倍光學(xué)吞吐量。做為選擇，一個(gè)單變換的氣室能用于很高濃度的高腐蝕或者強(qiáng)吸收率的氣體，任何一種氣室在環(huán)境溫度到191℃之間操作。

儀器的自主校準(zhǔn)

MultiGas 的軟件有多點(diǎn)校準(zhǔn)圖，能提供一個(gè)動(dòng)態(tài)的范圍至10-9的的數(shù)量級(jí).許多核數(shù) 的校準(zhǔn)都由其提供，另外，用戶也可以通過(guò) 已知的濃度來(lái)進(jìn)行校準(zhǔn)。MultiGas 軟件檢驗(yàn)每個(gè)工具的性能的效用，使它能把一個(gè)已經(jīng)在一臺(tái)機(jī)器上校準(zhǔn)的的值用于其他任何一臺(tái) 機(jī)器上，而且不用變更。

規(guī)格:

分析儀主機(jī)

測(cè)試技術(shù) 傅利葉變換紅外光譜可測(cè)試氣體或水蒸氣絕大多數(shù)分子除了氮?dú)?，氧氣和氫?范圍濃度從10ppb到99%

傅利葉變換紅外 2102制成傅利葉變換紅外

光譜分辨率 0.5 - 128cm-1

掃描速度每秒1次在0.5cm-1

掃描時(shí)間 1 – 300秒

紅外源碳化硅在1200℃

參考激光氦氖（15798.2cm-1）

檢測(cè)器液氮冷卻MCT或半導(dǎo)體制冷冷卻MCT（汞-鎘-碲化物）

清潔(Purge)壓力 20PSI(1.5bar)

光譜室Purge流量 0.2升/分，干燥氮?dú)饣蚵饵c(diǎn)在-70℃以下無(wú)二氧化碳的

干燥空氣

光學(xué)系統(tǒng)Purge流量 0.2升/分，干燥氮?dú)饣蚵饵c(diǎn)在-70℃以下無(wú)二氧化碳的

干燥空氣

壓力傳感器 MKS Baratron? 電容式薄膜壓力傳感器

Purge連接 Swagelok? 快速接頭

電腦要求臺(tái)式或筆記本電腦帶Intel奔騰?處理器,微軟Wingdows?

XP操作系統(tǒng)，1024 X 768顯示

通訊口 RJ-45的交叉以太網(wǎng)

輸出選件 XML，模擬，AK，其他

尺寸 445mm寬 X 318mm高 X 648mm深

安裝可安裝于19英寸標(biāo)準(zhǔn)機(jī)柜

電源 110V或220V，50/60hz，3A

重量 50公斤

分析儀采樣參數(shù)

采樣溫度室溫至200℃（取決于校準(zhǔn)溫度）

采樣速流 0.2 – 10升/分

采樣壓力 0.01 – 4大氣壓（取決于校準(zhǔn)壓力）

分析儀氣體室

結(jié)構(gòu) 鍍鎳鋁，或316不銹鋼焊接選件

接頭 Swagelok?或VCR?

采樣壓力 1個(gè)大氣壓（取決于校準(zhǔn)壓力）

管道加熱不銹鋼

鏡鋁襯底鎳板，鍍金

窗口 KBr﹔CaF2, ZnSe(其他可選)

“O”型密封圈 Viton?，(其他可選)

檢測(cè)極限

5.11米氣室，MCT檢測(cè)器在0.5cm-1分辨率下，下列典型氣體低檢測(cè)數(shù)據(jù)為：

名稱	分子式	20/20?氣室，5分鐘檢測(cè) 時(shí)間下的檢測(cè)值	20/20?氣室，1秒鐘檢測(cè)時(shí) 間下的檢測(cè)值
氨氣	NH3	30ppb	0.5ppm
二氧化碳	CO2	12ppb	0.2ppm
一氧化碳	CO	72ppb	1.2ppm
甲醛	H2CO	36ppb	0.6ppm
	HCl	87ppb	1.5ppm
甲烷	CH4	36ppb	0.6ppm
二氧化氮	NO2	24ppb	0.4ppm
氧化氮	NO	210ppb	3.6ppm
氧化二氮	N2O	30ppb	0.5ppm
四氟化硅	SiF4	10ppb	0.15ppm
二氧化硫	SO2	36ppb	0.6ppm
四氟化碳	CF4	2.5ppb	40ppb
二甲苯磺	C8H10	60ppb	1.0ppm