產(chǎn)品詳細(xì)介紹：
GZK-PID-103G是一款高真空恒壓控制系統(tǒng)，內(nèi)部含一高真空國(guó)產(chǎn)分子泵機(jī)組(機(jī)械泵VRD-24以及分子泵FF100/110)，兩種工作狀態(tài)可進(jìn)行切換：
分子泵工作模式：可啟動(dòng)分子泵機(jī)組，從而實(shí)現(xiàn)體系的高真空狀態(tài);
恒壓工作模式：待分子泵停止工作后，通過PID控制機(jī)械真空泵的轉(zhuǎn)速來控制抽氣速率，進(jìn)而獲得對(duì)腔室內(nèi)壓力的精密測(cè)量和恒壓控制，可與我公司的管式爐、鍍膜儀等設(shè)備結(jié)合，實(shí)現(xiàn)PVD、CVD、PECVD以及HPCVD等工藝中壓力恒定的精確控制;
本系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子濺射以及鍍膜工藝、光纖熔煉、混氣配氣系統(tǒng)及其它分析儀器中。
技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品特點(diǎn) | ? 含一高真空分子泵機(jī)組：機(jī)械泵VRD-24（抽速6.6L/s）以及分子泵FF100/110（抽速110L/S） ? 兩種工作狀態(tài)可進(jìn)行切換：分子泵工作模式以及恒壓工作模式 ? PLC觸摸屏控制，觸摸屏顯示真空度及各項(xiàng)工作狀態(tài)，一鍵式操作，方便快捷 ? 恒壓工作模式下：可通過變頻器來PID調(diào)節(jié)真空泵的電機(jī)轉(zhuǎn)速從而控制抽氣速率，使抽氣速率與進(jìn)氣量、漏氣率相匹配，從而達(dá)到精確的恒壓控制 |
輸入電源 | ? 208-240VAC, 單相, 50/60Hz ? 功率為1200W |
真空測(cè)量單元 | ? 型號(hào)：PGC-554-LD ? 測(cè)量范圍：3.8E-5 to 1125 Torr ? 精度： 3.7×10-4 … 7.5×10-4 torr (N2) % of reading ±50 7.5×10-4 … 75 torr (N2) % of reading ±15 75 … 713 torr(N2) % of reading ±5 713 … 788 torr(N2) % of reading ±2.5 |
真空泵系統(tǒng) | ? 機(jī)械泵型號(hào)：VRD-24 抽速：6.6L/S 工作環(huán)境溫度：5-40℃ 噪音：≦58 dB ? 分子泵型號(hào)：FF100/110 抽速：110L/S 極限壓強(qiáng)：≦4.5*10-7 torr（不帶負(fù)載） 啟動(dòng)壓強(qiáng)：< 0.75 torr 額定轉(zhuǎn)速：42300 rpm ? 與腔室連接接口尺寸：KF40
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壓力恒定控制系統(tǒng) | ? 壓力恒定控制范圍(進(jìn)氣氣氛為氬氣)： 760mtorr（100Pa）-----225torr（30000Pa）（按照進(jìn)氣量為500sccm） 600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照進(jìn)氣量為300sccm） 300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照進(jìn)氣量為100sccm） 180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照進(jìn)氣量為50sccm）
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外型尺寸 | ? 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H) |
產(chǎn)品重量 | ? ~80kg |
質(zhì)保期 | ? 一年質(zhì)保期，終身維護(hù) |
應(yīng)用 | ? 此系統(tǒng)配套上相應(yīng)的不銹鋼密封法蘭系統(tǒng)可以和本公司的真空管式爐、CVD、PECVD和HPCVD系統(tǒng)相連接，實(shí)現(xiàn)氣氛的恒壓控制。 ? 此系統(tǒng)與本公司磁控濺射儀等鍍膜設(shè)備匹配使用，可實(shí)現(xiàn)反應(yīng)磁控濺射的氣氛恒壓控制。 |
免責(zé)聲明 |
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