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GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀

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更新時間：2022-08-29 14:43:01瀏覽次數(shù)：138次

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產(chǎn)品簡介

GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀

詳細介紹

GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀

GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀

GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀，特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜（如Ti、Al、Au等），也可蒸鍍各種氧化物材料。本機設(shè)有4個蒸鍍加熱舟，且每個蒸鍍舟都帶有擋板。若更改部分配置也可實現(xiàn)對有機材料的蒸發(fā)鍍膜，可滿足發(fā)光器件及有機太陽能電池方面的研究要求，是一款鍍膜效果理想且性價較高的實驗設(shè)備。

功能特點
  • 真空控制單元全部集合在一個控制盒內(nèi)。
  • 采用獨立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷。
  • 真空腔體設(shè)有1個KF40旁抽閥（直接與前級機械泵相連，方便快速取放樣品，提高效率）、1個CF150閘板, 閥（直接與分子泵相連）、1個KF16法蘭（安裝電阻規(guī)）、5個CF35法蘭（1個安裝電離規(guī)，4個備用，便于,安裝其他設(shè)備）。
  • 在腔體底部配有5個水冷電極，可支持4個蒸鍍加熱舟。
  • 4個蒸鍍加熱舟上方配有獨立的可移動擋板，有效地避免蒸發(fā)時相互污染。
  • 樣品臺安裝在腔體的頂部。
  • 腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測厚儀，精度為10?。
  • 可使用循環(huán)水冷機。
技術(shù)參數(shù)
安裝條件本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
水設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機（加注純凈水或者去離子水）
電AC220V 50Hz，必須有良好接地
氣設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶?6mm雙卡套接頭）及減壓閥。
工作臺落地式，占地面積2m2以上
通風(fēng)裝置需要
輸入單相AC220V，50Hz/60Hz，功率
蒸發(fā)輸出電壓AC0-8V連續(xù)可調(diào)，蒸發(fā)電流200A，蒸發(fā)功率
真空腔

?300mm（內(nèi)徑）×400mm，不銹鋼，內(nèi)壁經(jīng)電拋光處理

腔門?200mm
觀察窗?95mm，采用專用密封圈密封
真空泵高抽速渦輪分子泵，抽速600L/s
真空度5.0×10-6torr（泵開啟40min后）
極限真空度5.0×10-7torr（加熱溫度為100℃-150℃）
漏率5.0×10-7Pa/s
樣品臺

?140mm

蒸發(fā)舟與樣品臺間距260mm
冷卻水需量15L/min
尺寸650mm×1200mm×1600mm
重量600kg

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