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維薩拉 K-PATENTS® 半導(dǎo)體行業(yè)用折光儀 PR-33-S

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更新時(shí)間：2022-09-28 19:17:03瀏覽次數(shù)：119次

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維薩拉（北京）測量技術(shù)有限公司

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產(chǎn)品簡介

該折光儀外形緊湊，流通池采用改良超純 PTFE 制成，適用于半導(dǎo)體液態(tài)化學(xué)品測量?？赏ㄟ^ ? 至 1 英寸的皮拉 Pillar 或擴(kuò)口 Flare 連接。維薩拉 K-PATENTS® 半導(dǎo)體行業(yè)用折光儀 PR-33-S 用于晶圓潔凈室里的化學(xué)品濃度監(jiān)測，通常被安裝在混合、清洗、蝕刻和 (CMP) 等機(jī)臺(tái)上。PR-33-S 包含一個(gè)超純改性 PTFE 流通池主體和一根以太網(wǎng)線，任何標(biāo)準(zhǔn)的以太網(wǎng)供電 ......

詳細(xì)介紹

全數(shù)字化設(shè)備

維薩拉 K-PATENTS® 半導(dǎo)體行業(yè)用折光儀 PR-33-S 用于過程監(jiān)控，可提供連續(xù)的以太網(wǎng)輸出信號(hào)，設(shè)計(jì)緊湊，可直接串接在過程管路上。

滿量程下保持精確穩(wěn)定測量

折光率測量范圍 nD 1.3200–1.5300，相當(dāng)于 0-99%（重量百分比）。對(duì)于高濃度 HF，可選范圍為 nD 1.2600–1.4700。標(biāo)稱準(zhǔn)確度為 R.I.+ 0.0002，通常相當(dāng)于 0.1%（按重量百分比計(jì)），例如，鹽酸濃度。

測量不受顆粒、氣泡、紊流及 PPM 濃度級(jí)別微量雜質(zhì)影響。

易于維護(hù)

光學(xué)核心設(shè)計(jì)。
無漂移。無需重新校準(zhǔn)。無需進(jìn)行機(jī)械調(diào)節(jié)。

關(guān)鍵詞：折光儀

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