布魯克的SEM PicoIndenter系列是深度感應(yīng)的納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)，專門設(shè)計(jì)用于與掃描電子顯微鏡（SEM、FIB/SEM）的上等成像能力聯(lián)用。有了這些系統(tǒng)，可以進(jìn)行定量納米力學(xué)測(cè)試，同時(shí)使用SEM進(jìn)行成像。Hysitron PI 85L SEM PicoIndenter 是一款專用的原位納米力學(xué)測(cè)試儀器，專為 SEM 使用而設(shè)計(jì)，但也適用于各種平臺(tái)和環(huán)境。該儀器采用布魯克電容式傳感器與極快的 78 kHz 控制系統(tǒng)配合使用，在納米尺度下提供**的性能和穩(wěn)定性。緊湊的小尺寸設(shè)計(jì)使該系統(tǒng)非常適合腔體、拉曼和光學(xué)顯微鏡、同步輻射光束線等。

專為高性能和多功能性而設(shè)計(jì)

Hysitron PI 85L 的樣品臺(tái)設(shè)計(jì)能容納厚度達(dá) 10 mm 的樣品，同時(shí)提供三個(gè)方向 （XYZ） 3 mm 范圍的**樣品定位。此外，樣品和傳感器的機(jī)械耦合為納米力學(xué)測(cè)試提供了一個(gè)穩(wěn)定、剛性的平臺(tái)?？傊?，這種設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)*大的傾斜度和*小工作距離，在測(cè)試期間實(shí)現(xiàn)*佳成像效果。

與 SEM 成像同步的原位力學(xué)數(shù)據(jù)

使用 Hysitron PI 85L 采集的原位力學(xué)數(shù)據(jù)與 SEM 成像同步，且并排顯示。在左側(cè)的示例中，負(fù)載位移數(shù)據(jù)中的不連續(xù)性與在包含銅互連和脆電介質(zhì)材料中觀察到的斷裂相關(guān)。同時(shí)進(jìn)行機(jī)械測(cè)量和SEM成像可**了解材料變形行為。

**使用各種模式探索材料變形行為

Hysitron PI 85L 可采用多種不同模式，在各種不同樣品中測(cè)試基本力學(xué)性能、應(yīng)力應(yīng)變行為、剛度、斷裂韌性和變形機(jī)制。

除了標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)試模式外，PI 85L 還可以升級(jí)，并可使用可選模式進(jìn)一步擴(kuò)展其功能。從加熱選項(xiàng)到電特性，PI 85L 可根據(jù)您的需求進(jìn)行調(diào)整。