Park XE7高性價比原子力顯微鏡

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更新時間：2021-06-15 15:38:17瀏覽次數：160次

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上海艾堯科學儀器有限公司

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產品簡介

Park XE7高性價比原子力顯微鏡

詳細介紹

1概覽

The economical choice for innovative research

Park XE7配有Park Systems的所有技術，而且價格十分親民。與Park Systems的其他高級型號相比，XE7在細節(jié)的設計上也相當用心，是幫助您準時且不超預算地完成研究的理想之選。

Uncompromised High Performance

在同級產品中，Park XE7能夠帶來納米級分辨率的測量效果。得益于的原子力顯微鏡架構，即獨立的XY軸和Z軸柔性掃描器，XE7能夠實現(xiàn)平滑、正交且線性的掃描測量，從而精確成像和測量樣品的特征。此外，Park所的True Non-Contact™模式還能為您帶來的圖像效果，探針可以在多次掃描后圖像的分辨率仍不會受影響。

For Current and Future Needs

在Park XE7的幫助下，現(xiàn)在與未來皆在您的掌控中。Park XE7帶有業(yè)內最多數量的測量模式。這些模式不僅能滿足您目前的需求，也考慮到未來不斷變化的需求。再者，XE7具有市場上最開源的設計，允許您整合其他附件和儀器，從而滿足您特殊的研究需求。

Easy to Use and High Productivity

Park XE7擁有簡潔的圖形用戶界面和自動化工具，即便是初學者也可以快速地完成對樣品的掃描。無論是預準直探針、簡單的樣品和探針更換、輕松的激光準直、自上而下的同軸視角以及用戶友好型掃描控制和軟件處理，XE7能夠全力推動研究生產力的提高。

Economical Beyond the System Cost

Park XE7不僅僅是實惠的研究級原子力顯微鏡，也是總體成本的原子力顯微鏡。Park XE7中所搭載的True Non-Contact™模式讓用戶無需頻繁更換昂貴的探針，并且它配有業(yè)內最多的掃描模式，兼容性，讓您可隨時升級系統(tǒng)功能，從而延長產品的使用壽命。

2技術信息

Accurate XY Scan by Crosstalk Elimination

Park Systems的串擾消除(XE)掃描系統(tǒng)能夠有效解決上述問題。我們使用了二維柔性平臺專門掃描樣品的XY軸位置，并通過壓電疊堆傳動裝置專門掃描探針懸臂的Z軸位置。用于XY軸掃描的柔性平臺采用了固體鋁材，其具有超高的正交性和出色的平面外運動軌跡。帶寬要求遠低于Z軸的帶寬要求，因此該掃描速度已然足夠。用于Z軸掃描的壓電疊堆傳動裝置具有大的推拉力和高共振頻率（約10 kHz)。

上圖(a)表示Park Systems XE系統(tǒng)的背景曲率為零，而(b)是傳統(tǒng)的原子力顯微鏡系統(tǒng)的管式掃描器的典型背景曲率，(c)展示了這些背景曲率的橫截面。

上圖展示了XE系統(tǒng)(a)和傳統(tǒng)原子力顯微鏡(b)掃描硅片時，未處理的成像圖。由于硅片屬于原子級光滑材料，因此圖像中的彎曲大多數是掃描器所引起的。圖9(c)展示了圖9中(a)(b)圖像的橫截面。由于管式掃描器本身帶有背景曲率，因此當X軸的位置移動15 μm時，平面外移動可達80 nm。而在相同的掃描范圍內，XE掃描系統(tǒng)的平面外移動則不超過1 nm。XE掃描系統(tǒng)的另一大優(yōu)勢是Z軸伺服回應。圖10是XE掃描系統(tǒng)在無接觸模式下拍下的一個多孔聚合物球體（二乙烯苯）的圖像，其直徑大約為5 µm。由于XE掃描系統(tǒng)的Z軸伺服回應極其精準，探針可以精確地沿著聚合物球體上的大曲率以及小孔平面結構移動，而不會壓碎或粘連在其表面上。圖11是Z軸伺服回應在平坦背景上高性能的表現(xiàn)。

Best Life, by True Non-Contact™ Mode

在True Non-Contact™模式中，探針與樣品的距離在相互原子力的控制下，被成功地控制在幾納米之間。探針振動幅度下，大大減少了探針與樣品的接觸，從而完好地保護了探針和樣品。

Longer Tip Life and Less Sample Damage

原子力顯微鏡探針的十分脆弱，這使得它在接觸樣品后會快速變鈍，從而限制原子力顯微鏡的分辨率和圖像的質量。對于材質較軟的樣品，探針會破壞樣品，導致其高度測量不準確。相應地，探針保持完整性意味著顯微鏡可以持續(xù)提供高分辨率的精確數據。XE系列原子力顯微鏡的真正非接觸模式能夠極大程度保護探針，從而延長其壽命，并減少對于樣品的破壞。下圖中以1:1的長寬比展示了XE系列原子力顯微鏡掃描淺溝道隔離樣品的未處理圖像，該樣品的深度由掃描電子顯微鏡(SEM)確定。在成像20次之后，探針幾乎有沒任何磨損。