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氦離子（PDHID）氣相色譜儀檢測(cè)高純氣體中的雜質(zhì)

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工業(yè)發(fā)展推動(dòng)了氣體行業(yè)的飛速發(fā)展，對(duì)高純氣、超純氣、電子氣、特種氣體的需求也大大提升了，提升的不僅僅是用量，質(zhì)量要求也更加高。氣體提純工藝和檢測(cè)成為了各大氣體生產(chǎn)

詳細(xì)介紹

工業(yè)發(fā)展推動(dòng)了氣體行業(yè)的飛速發(fā)展，對(duì)高純氣、超純氣、電子氣、特種氣體的需求也大大提升了，提升的不僅僅是用量，質(zhì)量要求也更加高。氣體提純工藝和檢測(cè)成為了各大氣體生產(chǎn)單位需要緊迫解決的問(wèn)題。對(duì)于氣體的檢測(cè)也隨著工業(yè)需求在逐步的向前推進(jìn)，氦離子化檢測(cè)器也越來(lái)越普遍地被應(yīng)用在高純氣、電子氣中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)。
 
目前國(guó)內(nèi)在高純氣體分析領(lǐng)域多數(shù)采用的熱導(dǎo)（TCD）檢測(cè)器由于靈敏度有限，很難測(cè)定5ppm以下的雜質(zhì)；氧化鋯檢測(cè)器由于是一種選擇性的檢測(cè)器，只能分析少數(shù)幾種氣體雜質(zhì)；而氬離子檢測(cè)器又往往帶有放射源。均不能很好的滿足高純氣體分析的基本要求。
 
氦離子氣相色譜儀適用于高純氣體和電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)，蕞小檢測(cè)濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測(cè)器，適用于高純氫、氧、氬、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)，一次性完成上述高純氣體中H2、O2（Ar）、N2、CH4、CO、CO2等常見(jiàn)雜質(zhì)或C1-C4等碳?xì)浠衔锏臋z測(cè)，檢測(cè)限達(dá)ppb級(jí)，重復(fù)性RSD≤1％。
 
一、適用標(biāo)準(zhǔn)：
 
GB/T3634.2《純氫、高純氫和超純氫》  GB/T 14599《純氧、高純氧和超純氧》
GB/T 8979《純氮、高純氮和超純氮》    GB/T 4842《氬》
GB/T 4844 《純氦、高純氦和超純氦》   GB/T 17873《純氖》
GB/T 5829《氪氣》                              GB/T 5828《氙氣》
HG/T 3633《純甲烷》                           GB 10621《食品添加劑  液體二氧化碳》
GB/T 23938 《高純二氧化碳》               GB/T 28125.1《空分工藝中危險(xiǎn)物質(zhì)的測(cè)定》
 
 
雜質(zhì)種類：           H2   O2   N2   CO   CH4   CO2   C2H4   C2H6   C2H2   N2O   苯
 
檢測(cè)限（ppb）：   5    10     10    25       5        5       10       10       10         5       1
 
 
儀器系統(tǒng)配置：
 
GC-20氣相色譜儀主機(jī)
中心切割及反吹系統(tǒng)
分析柱（1套）
PDHID檢測(cè)器
電腦反控色譜工作站
標(biāo)準(zhǔn)氣體
氣體取樣閥
高純氦（純度>99.999％）
He純化器
載氣減壓閥（雙極全不銹鋼、無(wú)滲透無(wú)死體積）
金屬過(guò)濾系統(tǒng)




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