封閉式離子源氣體分析儀憑借優(yōu)于1ppm的檢測極限，mTorr壓力下的直接采樣，以及用戶方便操作的Windows軟件包，CIS系統(tǒng)將滿足嚴苛的制程。如：在線過程監(jiān)控、使用點工藝氣體純度驗證、高真空殘余氣體分析和工藝設(shè)備泄露檢測等領(lǐng)域。

封閉式離子源氣體分析儀特點

100、200、300amu質(zhì)量數(shù)可選

1ppm 檢測極限

操作壓力可至10mTorr

檢測極限1 × 10E−12 Torr

RGA Windows & LabVIEW軟件包

現(xiàn)在可更換電子倍增器和燈絲

RGA和真空系統(tǒng)封閉式

制程監(jiān)控系統(tǒng)

PPR過程監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計用于在線過程監(jiān)控和診斷。殘余氣體分析儀（RGA）有兩條通路：一條用于監(jiān)測基本真空的高導(dǎo)電通路和一條用于監(jiān)測工作壓力下工藝的減壓通路。減壓通道擁有一個小孔，其設(shè)計用于以下壓力之一下工作：0.01、0.1、1、10Torr。它將樣品的壓力降低到RGA工作的壓力（約10E-6Torr）。這種降壓是有一個渦輪分子泵和一個隔膜泵組成的真空系統(tǒng)維持的，兩個泵都是無油真空泵，不會污染工藝過程。

此系統(tǒng)包括一個RGA、旁通閥總成和三通、ECU控制器、渦輪分子泵、隔膜泵和用于數(shù)據(jù)采集和控制的Windows軟件程序。系統(tǒng)軟件可在各種模式下操作儀器，包括模擬掃描、柱狀圖分析和壓力、時間的模式。

法拉第杯和電子倍增器都是標準的配置，電子倍增器可提供更高的靈敏度和掃描速度。PPR系統(tǒng)在發(fā)貨時已經(jīng)*組裝并且校準，可直接連接到真空腔室。