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行業(yè)產(chǎn)品

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全自動(dòng)減薄機(jī)GR-1250

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式：顏波查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2024-04-09 12:42:34瀏覽次數(shù)：119次

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經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：57條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：顏波 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

概述設(shè)備采用In-feed磨削原理而設(shè)計(jì)，采用粗磨精磨軌跡重合技術(shù)，提高設(shè)備磨削加工精度

詳細(xì)介紹

概述
設(shè)備采用In-feed 磨削原理而設(shè)計(jì)，采用粗磨精磨軌跡重合技術(shù)，提高設(shè)備磨削加工精度。磨削過(guò)程采用自適應(yīng)控制技術(shù)，控制磨削應(yīng)力，提高晶片質(zhì)量。

性能指標(biāo)

圓晶直徑

Max.Φ300mm

磨削方式

In-feed grinding with wafer rotation

通過(guò)旋轉(zhuǎn)晶圓，實(shí)現(xiàn)縱向切入式磨削

主軸

主軸數(shù)量

2

輸出功率

7.5KW

轉(zhuǎn)速

1000-4000rpm

Z軸

行程

120mm(有初始化位置)

進(jìn)給速度

0.00001~0.08mm/s

返回速度

50mm/s

分辨率

0.1pm

承片臺(tái)數(shù)量

3

工作臺(tái)轉(zhuǎn)速

0-300rpm

減薄精度

片內(nèi)厚度偏差

<3μm

片間厚度偏差

<±3μm

表面粗糙度Ra

根據(jù)使用的砂輪目數(shù)決定

測(cè)量?jī)x

測(cè)量范圍

0-1800μm （選配）

分辨率

0.1μm （選配）

重復(fù)精度

±0.5μm （選配）

其他規(guī)格

外形尺寸(WxDxH)

1200mmx1800mmx1910mm

設(shè)備重量

≈3300 kg


產(chǎn)品特色

●采用In-feed 磨削原理而設(shè)計(jì);
●磨削過(guò)程采用自適應(yīng)控制技術(shù)，控制磨削應(yīng)力，提高晶片質(zhì)量；
●設(shè)備配有3個(gè)可定制尺寸和類型的多孔陶瓷臺(tái)，承片臺(tái)軸采用精密機(jī)械軸承;
●雙軸三承片臺(tái)結(jié)構(gòu)，粗磨精磨磨削同時(shí)進(jìn)行，加工效率大幅度提高;
●采用粗磨精磨軌跡重合技術(shù)，提高設(shè)備磨削加工精度。

關(guān)鍵詞：工作臺(tái)

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