HBO 200W/DC，HBO 350W/S，HBO 1000W/D，HBO 5000W/S
德國OSRAM 歐司朗曝光燈系列，具體良好的光通量，穩(wěn)定的光強度以及優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)受到業(yè)界的青睞。目前給德國蘇斯光刻機配套的相關參數(shù)如下：
HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography | |||
Lamps for SüSS Equipment | Lamp type | Max life[h] | Equipment(適用機型） |
HBO 200W/DC | 1000 | MJB3 | |
HBO 350W/S | 600 | MA4,MA6,MA8,MA150,MJB3,MJB21,UV300/500 | |
HBO 1000W/D | 1000 | MA150,MA200,MA4,MA6,MA8 | |
HBO 5000W/S | 1000 | MA300 | |
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