HBO 200W/DC,HBO 350W/S,HBO 1000W/D,HBO 5000W/S
德國(guó)OSRAM 歐司朗曝光燈系列,具體良好的光通量,穩(wěn)定的光強(qiáng)度以及優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)受到業(yè)界的青睞。目前給德國(guó)蘇斯光刻機(jī)配套的相關(guān)參數(shù)如下:
HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography | |||
Lamps for SüSS Equipment | Lamp type | Max life[h] | Equipment(適用機(jī)型) |
HBO 200W/DC | 1000 | MJB3 | |
HBO 350W/S | 600 | MA4,MA6,MA8,MA150,MJB3,MJB21,UV300/500 | |
HBO 1000W/D | 1000 | MA150,MA200,MA4,MA6,MA8 | |
HBO 5000W/S | 1000 | MA300 |