項(xiàng)目	通用指標(biāo)
頻率	2MHz/13.56MHz/27.12MHz/40MHz/60MHz
頻率誤差	0.005%
額定輸出功率	5w-1.5kW/3kW；30W-6kW；50W-10kW
功率模式	Forward power；load power
功率步進(jìn)	1W（最小0.1W-低功率高精度模式，5W開始）
功率重復(fù)性（同一電源）	±0.5%
整機(jī)效率（額定功率下）	63%
散熱方式	水冷+風(fēng)冷
通信接口	Analog/Ether CAT/RS232/Ether NET/local

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工作模式

連續(xù)波

脈沖波

應(yīng)用范圍

ICP/CCP干法刻蝕

PECVD

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