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行業(yè)產(chǎn)品

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成都沃特塞恩電子技術(shù)有限公司


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【DiaMiner培育鉆石設(shè)備】DM-8000微波等離子體CVD設(shè)備

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式：宛女士查看聯(lián)系方式

更新時間：2023-03-09 12:31:05瀏覽次數(shù)：495次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：47條

所在地區(qū)：四川成都市

聯(lián)系人：宛女士 （市場專員）

產(chǎn)品簡介

【DiaMiner培育鉆石設(shè)備】DM-8000微波等離子體CVD設(shè)備

詳細介紹

技術(shù)參數(shù)
（1）型號DM-8000
（2）電源AC380 V 三相五線制 50Hz，
（3）微波輸出功率8kW ，2450MHz點頻
（4）微波泄露≤2mW/cm3@5cm
（5）功率穩(wěn)定度1 %（@穩(wěn)態(tài)）
（6）有效沉積區(qū)域up to Φ 70 mm
（7）樣品臺直徑Φ120 mm
（8）極限真空度≤5 ×1 0-1 P a
（9）真空漏率＜1x10-9Pa.m3/s
（10）單晶生長生長速度10-15μm/H，單輪生長厚度≥1.6mm
（11）單晶質(zhì)量
色度H，肉眼無瑕疵
（12）氣體種類標配四路MFC：H2:1000sccm，CH4:100sccm，O2:10sccm，N2:5sccm；可擴展為5路
（13）壓強控制范圍5-255 torr
（14）壓強控制精度±0 . 1 T o r r
（15）冷卻水＞65L/Min


了解產(chǎn)品更多詳細參數(shù)請聯(lián)系我司銷售！

應(yīng)用范圍

適合光學(xué)、電子、工具級金剛石膜或單晶、石墨烯等的沉積，材質(zhì)表面處理、低溫氧化物的生長等。


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