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成都沃特塞恩電子技術(shù)有限公司
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更新時間：2022-07-11 17:44:03瀏覽次數(shù)：296次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線固態(tài)微波遠(yuǎn)程等離子體源
項(xiàng)目 | 特征 |
頻率 | 2450MHz |
微波功率 | 額定1.5kW，3kW |
功率穩(wěn)定度 | ≤1% |
適用氣體 | O2，N2, H2, Ar, He, CF4, SF6， CI2 等 |
運(yùn)行氣壓范圍 | 0.06-20 Torr |
氣體流量范圍 | 0.1-10 slm |
等離子發(fā)生腔材質(zhì) | 石英、陶瓷、藍(lán)寶石可選 |
電源輸入 | 單相交流 110-264V/50-60Hz |
冷卻方式 | 循環(huán)水冷， 8L/MIN， 5-25℃， 1/4"快速接口（固態(tài)微波源部分） |
控制接口 | DB9F / RJ45 |
等離子輸出端口 | ISO-K 63 |
外形尺寸 | 350*250*140mm (等離子體放電腔部分) |
整體重量 | 50KG |
前道及后道半導(dǎo)體生產(chǎn)工序中的去膠
前道及后道半導(dǎo)體生產(chǎn)工序中的刻蝕
柔性PCB卷對卷工藝制作中聚酰亞胺薄膜的刻蝕
材料表面處理
等離子體放電腔
固態(tài)微波源
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