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HMPS-2150S微波等離子體CVD設(shè)備

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式：宛女士查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2022-07-11 17:42:35瀏覽次數(shù)：243次

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經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：47條

所在地區(qū)：四川成都市

聯(lián)系人：宛女士 （市場(chǎng)專員）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

HMPS-2150S微波等離子體CVD設(shè)備 沃特塞恩旗下的和瑞微波事業(yè)部專業(yè)從事微波能、微波等離子體應(yīng)用技術(shù)研發(fā)及MPCVD設(shè)備生產(chǎn)、具有多項(xiàng)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)……，我司生產(chǎn)的這款型號(hào)為HMPS-2150S微波等離子體CVD設(shè)備具有以下優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：. 微波反應(yīng)腔新型設(shè)計(jì)，功率密度大。. 產(chǎn)品沉積速率快、沉積質(zhì)量高、沉積面積超過(guò)3inch。. 開關(guān)型微波功率源，微波功率輸出......

詳細(xì)介紹

技術(shù)規(guī)格
（1）型號(hào)HMPS-2150S
（2）電源AC380±10% V 三相五線制 50Hz，額定輸入＜25KVA
（3）微波輸出功率0.5~6kW 連續(xù)可調(diào)
（4）功率穩(wěn)定度  ≤±1%（@滿功率）
（5）紋波≤1%
（6）微波頻率   2450MHz±50MHz
（7）測(cè)溫方式     紅外300~1400℃，控制精度±5℃
（8）極限真空度 6×10-6torr
（9）腔體內(nèi)工作壓力   7torr~250torr
（10）自動(dòng)氣壓控制0.1torr
（11）等離子放電區(qū)域 Φ≥100mm
（12）均勻沉積區(qū)域 Φ≥80mm
（13）工作氣氛五路（可用戶定制）
（14）微波泄漏值 ＜5mW/cm2
（15）工作環(huán)境  溫度15~40℃，相對(duì)濕度≤60%，無(wú)腐蝕性氣體
（16）冷卻水  ＞46L/Min


應(yīng)用范圍

適合光學(xué)、電子、工具級(jí)金剛石膜或單晶、石墨烯等的沉積，材質(zhì)表面處理、低溫氧化物的生長(zhǎng)等。



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