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等離子清洗機(jī)能有效的材料去除表面油脂、灰塵等污染物，便之達(dá)到超潔凈清洗目的；等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰化和表面改性等場(chǎng)合。 通過(guò)等離子清洗機(jī)的處理，能夠改善材料的潤(rùn)濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂。等離子清洗機(jī)外觀簡(jiǎn)潔，高度集成化，該設(shè)備外觀簡(jiǎn)潔、高度集成化，可應(yīng)用在半導(dǎo)體、微納電子、MEMS、PCB、 光學(xué)電子、光學(xué)制造、汽車電子、醫(yī)療產(chǎn)品、生命科學(xué)、食品行業(yè)等領(lǐng)域，等離子清洗機(jī)可對(duì)各種材料的表面進(jìn)行有機(jī)物去除、清潔、靜電消除，化學(xué)修飾或涂層沉積。
等離子清洗機(jī)對(duì)晶圓光刻膠的應(yīng)用：等離子應(yīng)用包括處理、灰化/光刻膠/聚合物去除、介電質(zhì)刻蝕等等。使用等離子清洗機(jī)不僅*去除光刻膠和其他有機(jī)物，而且活化晶圓表面，提高晶圓表面浸潤(rùn)性。只需要通過(guò)等離子清洗設(shè)備的簡(jiǎn)單處理，就能將自由基將高分子聚合物*清除干凈，包括在很深且狹窄尖銳的溝槽里的聚合物。達(dá)到其他清理方式很難完成的效果。
等離子體清洗機(jī)去除晶圓表面光刻膠
