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等離子清洗機(jī)機(jī)產(chǎn)生的等離子體是一種高能、高活性的物質(zhì),對(duì)任何有)材料等都有很好的蝕刻效果,而且等離子清洗機(jī)是干法處理設(shè)備不會(huì)造成污染,所以近年來(lái)等離子清洗機(jī)已經(jīng)被大量應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)品的制作。
1. 多層柔性板除膠渣、軟硬結(jié)合板除膠渣、FR-4高厚徑比微孔、高TG板材除膠渣(Desmear);等離子清洗機(jī)提高孔壁與鍍銅層結(jié)合力,除膠渣*,提高通斷可靠性,防止內(nèi)層鍍銅后開(kāi)路。
2. PTFE(鐵氟龍)高頻板沉銅前孔壁的表面活化(Modification):提等離子清洗機(jī)提高了高孔壁與鍍銅的結(jié)合力,杜絕出現(xiàn)黑孔,高溫焊接后爆孔等現(xiàn)象。阻焊與字符前活化:有效防止阻焊字符脫落
3. HDI板laser通孔、盲/埋孔去除激光(Laser)灼燒碳化物。不受孔徑大小要求,孔徑小于50微米微孔(效)果更顯著(Micro hole,IVH,BVH).
4. 精細(xì)線條制作時(shí)去除干膜殘余物(去除夾膜)
5. 軟硬結(jié)合板疊層壓合前PI表面粗化,柔性板補(bǔ)強(qiáng)前PI表面粗化:拉力值可增大10倍以上。
6. 化學(xué)沉金/電鍍前手指、焊盤表面清潔:去除阻焊油墨等異物,提高密著性和附著性,一些較大型柔性板廠已經(jīng)用等離子清洗機(jī)取代傳統(tǒng)磨板機(jī)(沉金鍍金前磨板被等離子清洗取代)。
7. 化學(xué)沉金/電鍍金后,SMT前焊盤表面清潔(cleaning);可焊性改良,杜絕虛焊、上錫不良,提高強(qiáng)度和信賴性。
8. PCB板BGA封裝前表面清洗,打金線WIRE DieBonding前處理,EMC封裝前處理:提高布線/連線強(qiáng)度和信賴性(去除阻焊油墨等殘余物)
9. LCD領(lǐng)域:模組板去除金手指氧化和壓合保護(hù)膜過(guò)程中溢膠等污染物,偏光片貼合前表面清潔。
10. IC半導(dǎo)體領(lǐng)域:半導(dǎo)體拋光晶片(Wafer):去除氧化膜,有機(jī)物;
COB/COG/COF/ACF等工藝中微觀污染物清潔,提高密著性和可靠性。
11.LED領(lǐng)域:打線Wire前焊盤表面清潔,去除有機(jī)物。
等離子處理機(jī)清洗工藝屬于干法工藝,與濕法工藝相比具有許多優(yōu)點(diǎn),這些優(yōu)點(diǎn)是由等離子體自身的特點(diǎn)決定的。等離子處理機(jī)電離出來(lái)的整體顯電中性等離子體具有高度的活性,能與材料表面的原子發(fā)生連續(xù)的反應(yīng),使表面物質(zhì)不斷被激發(fā)成氣體,揮發(fā)出來(lái),以達(dá)到清潔的目的。等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中有很好的實(shí)用性,是清潔、環(huán)保的、高效的清洗方法。