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低溫等離子體清洗機可實現(xiàn)材料表面清潔、活化、材料的表面,提高其結(jié)合能力或賦予全新的表面性能。等離子處理設(shè)備具有提高材料表面親水性或疏水性、減少表面摩擦等作用。
等離子清洗機(Plasma Cleaner)又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合,通過等離子清洗機的表面處理,能夠改善材料表面的潤濕能力,使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作,增強粘合力、鍵合力,同時去除有機污染物、油污或油脂.
等離子體清洗機是一種新型的高科技技術(shù),利用等離子體達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),又稱物質(zhì)的第四種狀態(tài),不屬于常見的固液氣三種狀態(tài)。向氣體施加足夠的能量,使其離化成等離子體狀態(tài)。等離子體的“活性"成分包括離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子體清洗機利用這些活性成分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而達到清潔和涂層的目的。
等離子清洗機器除能在特定條件下還可根據(jù)需要改變某些材料表面的性能,等離子體作用于材料表面,使表面分子的化學(xué)鍵發(fā)生重組,形成新的表面特性。對一些有特殊用途的材料,在超清洗過程中等離子清洗機器的輝光放電不但加強了這些材料的粘附性、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌。等離子清洗器廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。