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等離子清洗機(jī)利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的活性組分包括：離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。
等離子清洗機(jī)的消融作用中使用的惰性氣體破壞了聚合物表面的化學(xué)鍵從而導(dǎo)致聚合物表面自由官能團(tuán)的形成。
聚合物表面的自由官能團(tuán)重新成鍵形成原始的聚合物結(jié)構(gòu)，也能與在相同的聚合物鏈上鄰近的自由官能團(tuán)成鍵，或與在不同的聚合物鏈上附近的自由官能團(tuán)成鏈。聚合物表面結(jié)構(gòu)重組能夠改進(jìn)表面的硬度和化學(xué)抗性；
基于等離子過程氣體的化學(xué)性質(zhì)，這些表面自由官能團(tuán)與等離子中原子或化學(xué)基的連接形成了新的聚合物功能組，代替舊的表面聚合物功能組。等離子清洗機(jī)聚合物表面改性能夠改變材料表面的化學(xué)性質(zhì)，而材料整體性質(zhì)不會(huì)改變；
4、等離子清洗機(jī)對聚合物的表面鍍膜
等離子鍍膜是通過過程氣體的聚合作用在材料基層表面形成一層薄的等離子涂層。如果被使用的生產(chǎn)氣體由復(fù)合分子組成，那么他們在等離子態(tài)將破裂，形成自由的官能單體，這些官能單體將在聚合物表面成鍵和重新化合在聚合物表面鍍膜。等離子清洗機(jī)的聚合物表面涂層能明顯地改變表面的滲透性和磨擦性。
等離子清洗機(jī)表面處理機(jī)應(yīng)用包括處理、灰化、改性、蝕刻等過程。選擇等離子清洗設(shè)備，不僅能除去光刻膠和其他有機(jī)物，而且能激活晶圓表面，提高晶圓表面的潤濕性。聚合物、包括形狀不一的槽孔和狹長的孔洞內(nèi)的微粒，使用等離子清洗機(jī)可以輕而易舉清洗掉
在聚合物清洗上，等離子清洗機(jī)發(fā)揮著極其重要的作用：
等離子清洗機(jī)的消融作用中使用的惰性氣體破壞了聚合物表面的化學(xué)鍵從而導(dǎo)致聚合物表面自由官能團(tuán)的形成。
聚合物表面的自由官能團(tuán)重新成鍵形成原始的聚合物結(jié)構(gòu)，也能與在相同的聚合物鏈上鄰近的自由官能團(tuán)成鍵，或與在不同的聚合物鏈上附近的自由官能團(tuán)成鏈。聚合物表面結(jié)構(gòu)重組能夠改進(jìn)表面的硬度和化學(xué)抗性；
2、等離子清洗機(jī)對聚合物表面清潔：等離子清洗機(jī)通過高能電子和離子轟擊材料表面，從而機(jī)械地除去污物層。可以除去某些加工聚合物中可能存在的污垢層、不需要的聚合物表面涂層和薄弱的邊界層。
3、聚合物的表面改性
等離子清洗機(jī)的消融作用破壞了聚合物表面的化學(xué)鍵，從而導(dǎo)致聚合物表面自由官能團(tuán)的形成。基于等離子過程氣體的化學(xué)性質(zhì)，這些表面自由官能團(tuán)與等離子中原子或化學(xué)基的連接形成了新的聚合物功能組，代替舊的表面聚合物功能組。等離子清洗機(jī)聚合物表面改性能夠改變材料表面的化學(xué)性質(zhì)，而材料整體性質(zhì)不會(huì)改變；
4、等離子清洗機(jī)對聚合物的表面鍍膜
等離子鍍膜是通過過程氣體的聚合作用在材料基層表面形成一層薄的等離子涂層。如果被使用的生產(chǎn)氣體由復(fù)合分子組成，那么他們在等離子態(tài)將破裂，形成自由的官能單體，這些官能單體將在聚合物表面成鍵和重新化合在聚合物表面鍍膜。等離子清洗機(jī)的聚合物表面涂層能明顯地改變表面的滲透性和磨擦性。
等離子清洗機(jī)處理方法是剝離式清洗，優(yōu)勢在于清洗后無廢液，特點(diǎn)是對金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料等原基材料都能很好地處理，可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。
低溫等離子清洗機(jī)用于物體表面清潔、蝕刻、表面活化改性等多種場合，通過等離子清洗機(jī)的處理，可使新能源材料獲得潤濕性、增強(qiáng)粘結(jié)力、粘結(jié)力等，同時(shí)去除有機(jī)污染物，確保連接張力達(dá)到規(guī)范要求，例如可以提高構(gòu)件與底板間的粘接強(qiáng)度，通常需要在粘合點(diǎn)用等離子體清洗機(jī)的處理。
