超大試樣室掃描電子顯微鏡MIRA ( LC-SEM )自從推出后，已在航kong、航天及材料科學(xué)中得到了廣泛應(yīng)用。LC-SEM可以同時裝備多種探測設(shè)備（背散射電子成像、EDS、EBSD、FIB、FT-IR）來滿足不同的需求。不僅可以檢查大型零部件的物理特性，還可以評價原材料的化學(xué)和結(jié)晶體特性。幾乎對任何樣本都可實現(xiàn)非常準(zhǔn)確的，直到在分子層面的一站式檢查和分析。

超大試樣室掃描電子顯微鏡MIRA ( LC-SEM )介紹

使用通常掃描電子顯微鏡時，面臨zui大困難之一是被測樣品的大小限制，通常情況下，只能對直徑在數(shù)十到一百毫米內(nèi)小的樣本進(jìn)行研究且只有一兩種關(guān)聯(lián)的分析工具，這限制了這一重要測試技術(shù)的應(yīng)用。LC-SEM克服了這一點，其超大真空室和光學(xué)系統(tǒng)擴展視圖功能zui大可容納直徑與高度分別達(dá)1.5米，重300kg的樣品，分辨率優(yōu)于10納米，放大倍數(shù)10倍-30萬倍，真空度10-6毫巴，加速電壓30kv。從一粒沙子到一個柴油發(fā)動機大小的樣品，不必切小，僅用一臺儀器就可以做全面的檢查。其足夠大的空間還可進(jìn)行原位觀察，實現(xiàn)零部件疲勞、應(yīng)力/應(yīng)變、磨損等非破壞性試驗研究。

LC-SEM試樣室有 3 m3、9 m3、12 m3 三種型號，分析試樣zui大可高達(dá)：直徑1500毫米、高度1500毫米。真空系統(tǒng)裝配有強大的三個泵：旋片和轉(zhuǎn)子泵應(yīng)用于低真空，渦輪增壓泵應(yīng)用于高真空，可實現(xiàn)10 -6 mbar的高真空。該系統(tǒng)有足夠的能力，除去腔室中試樣的氣體，在45分鐘內(nèi)便可以實現(xiàn)所需的真空度。設(shè)置有多層墻體保證了不受任何外部磁場的影響。