詳細(xì)介紹



• 在MEMS和封裝領(lǐng)域,SUSS涂膠顯影設(shè)備得到廣泛應(yīng)用和客戶支持
• 提供包括PR/PI的旋涂/噴涂、顯影、HMDS處理、熱板和冷板等功能,集成了如去厚膠邊,背面清洗,工藝腔自動清洗等功能。
• 同時,涂膠/顯影模塊可以通過準(zhǔn)確控制工藝參數(shù),如加裝溫濕度控制系統(tǒng)、涂膠/顯影方式、溫度、時間和用量,以達到工藝效果。





東莞市微觀科學(xué)儀器有限公司 |
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更新時間:2025-03-28 08:32:12瀏覽次數(shù):38
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• 同時,涂膠/顯影模塊可以通過準(zhǔn)確控制工藝參數(shù),如加裝溫濕度控制系統(tǒng)、涂膠/顯影方式、溫度、時間和用量,以達到工藝效果。