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長行程壓電納米位移臺XYMF-133-100A

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更新時間：2023-03-06 18:57:32瀏覽次數(shù)：144次

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北京麥迪森科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

長行程壓電納米位移臺XYMF-133-100A,具有分辨率高，行程大，帶有高精度及高分辨率的位置反饋，操作簡單，定位精準(zhǔn)，能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn)，XYMF-133-100A平移臺可實(shí)現(xiàn)在XY二維空間上的精確定位，可應(yīng)用于需要納米精度運(yùn)動操作及定位的各個領(lǐng)域

詳細(xì)介紹

長行程壓電納米位移臺XYMF-133-100A,具有分辨率高，行程大，帶有高精度及高分辨率的位置反饋，

操作簡單，定位精準(zhǔn)，能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn)，XYMF-133-100A平移臺可實(shí)現(xiàn)在XY二維空間上的精確

定位，可應(yīng)用于需要納米精度運(yùn)動操作及定位的各個領(lǐng)域。

該產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動，運(yùn)動無需潤滑，真空兼容，并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運(yùn)動

分辨率達(dá)到納米級。能夠步進(jìn)和掃描雙模式工作，在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。支持

開環(huán)/閉環(huán)控制。

應(yīng)用案例

1、電子顯微鏡原位納米探針臺

2、半導(dǎo)體芯片檢測

3、光刻機(jī)工件臺

4、微生物操縱手