Viatran 壓力傳感器5093BQS 

Viatran 壓力傳感器5093BQS 

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微機械壓力傳感器是開始研制的微機械產(chǎn)品，也是微機械技術(shù)中成熟、早開始產(chǎn)業(yè)化的產(chǎn)品。從信號檢測方式來看，微機械壓力傳感器分為壓阻式和電容式兩類，分別以體微機械加工技術(shù)和犧牲層技術(shù)為基礎(chǔ)制造。從敏感膜結(jié)構(gòu)來看，有圓形、方形、矩形、E形等多種結(jié)構(gòu)。壓阻式壓力傳感器的精度可達(dá)0.05%～0.01%,年穩(wěn)定性達(dá)0.1%/F.S，溫度誤差為0.0002%,耐壓可達(dá)幾百兆帕,過壓保護(hù)范圍可達(dá)傳感器量程的20倍以上,并能進(jìn)行大范圍下的全溫補償?，F(xiàn)階段微機械壓力傳感器的主要發(fā)展方向有以下幾個方面。 

美國威創(chuàng)Viatran 壓力傳感器 5093BPS 
美國威創(chuàng)Viatran 壓力傳感器 5705BPSX1052
美國威創(chuàng)Viatran 壓力傳感器 5093BQS 
美國威創(chuàng)Viatran 壓力傳感器 5093BMST85
美國威創(chuàng)Viatran 壓力傳感器 423BFSX1413
美國威創(chuàng)Viatran 壓力傳感器 520BQS
美國威創(chuàng)Viatran 壓力傳感器 510BPSNK

硅微加速度傳感器是繼微壓力傳感器之后第二個進(jìn)入市場的微機械傳感器。其主要類型有壓阻式、電容式、力平衡式和諧振式。其中有吸引力的是力平衡加速度計，其典型產(chǎn)品是Kuehnel等人在1994年報道的AGXL50型。國內(nèi)在微加速度傳感器的研制方面也作了大量的工作，如西安電子科技大學(xué)研制的壓阻式微加速度傳感器和清華大學(xué)微電子所開發(fā)的諧振式微加速度傳感器。后者采用電阻熱激勵、壓阻電橋檢測的方式，其敏感結(jié)構(gòu)為高度對稱的4角支撐質(zhì)量塊形式，在質(zhì)量塊4邊與支撐框架之間制作了4個諧振梁用于信號檢測。

SOR丨1NN-K45-M4-C1A 壓力開關(guān)
SOR丨6NN-K3-N4-F1A  壓力開關(guān) 
SOR丨101NN-K45-N4-CIA  壓力開關(guān)  
SOR丨101NN-K3-N4-C1A  壓力開關(guān)   
SOR丨5NN-K5-N4-C2A 壓力開關(guān) 
SOR丨9NN-K3-N4-F1A  壓力開關(guān)    
SOR丨6NN-K2-N4-FIA  壓力開關(guān) 

角速度一般是用陀螺儀來進(jìn)行測量的。傳統(tǒng)的陀螺儀是利用高速轉(zhuǎn)動的物體具有保持其角動量的特性來測量角速度的。這種陀螺儀的精度很高，但它的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，使用壽命短，成本高，一般僅用于導(dǎo)航方面，而難以在一般的運動控制系統(tǒng)中應(yīng)用。實際上，如果不是受成本限制，角速度傳感器可在諸如汽車牽引控制系統(tǒng)、攝象機的穩(wěn)定系統(tǒng)、科研儀器、軍事儀器、運動機械、計算機慣性鼠標(biāo)、軍事等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景。常見的微機械角速度傳感器有雙平衡環(huán)結(jié)構(gòu)，懸臂梁結(jié)構(gòu)、音叉結(jié)構(gòu)、振動環(huán)結(jié)構(gòu)等。但是，實現(xiàn)的微機械陀螺的精度還不到10°/h，離慣性導(dǎo)航系統(tǒng)所需的0.1°/h相差尚遠(yuǎn)。
SOR丨101NN-K45-N4-CIA  壓差開關(guān)
SOR丨1NN-K45-M-C2A-TTYY（6-10MPa）  壓力開關(guān) 
SOR丨1NN-K45-M-C2A-TTYY（7-10MPa） 壓力開關(guān) 
SOR丨9NN-K45-N4-F1A（2-6MPa）  壓力開關(guān) 
SOR丨6NN-K2-N4-F3A  壓力開關(guān) 
SOR丨701A-F7A-P-A4-N4  壓力開關(guān) 
SOR丨12NN-K45-N4-BIA 壓力開關(guān)

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微流量傳感器不僅外形尺寸小，能達(dá)到很低的測量量級，而且死區(qū)容量小，響應(yīng)時間短，適合于微流體的精密測量和控制。國內(nèi)外研究的微流量傳感器依據(jù)工作原理可分為熱式（包括熱傳導(dǎo)式和熱飛行時間式）、機械式和諧振式3種。清華大學(xué)精密儀器系設(shè)計的閥片式微流量傳感器通過閥片將流量轉(zhuǎn)換為梁表面彎曲應(yīng)力，再由集成在閥片上的壓敏電橋檢測出流量信號。該傳感器的芯片尺寸為3.5mm×3.5mm，在10ml～200ml/min的氣體流量下，線性度優(yōu)于5%。
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根據(jù)制作材料的不同，微氣敏傳感器分為硅基氣敏傳感器和硅微氣敏傳感器。其中前者以硅為襯底，敏感層為非硅材料，是當(dāng)前微氣敏傳感器的主流。微氣體傳感器可滿足人們對氣敏傳感器集成化、智能化、多功能化等要求。例如許多氣敏傳感器的敏感性能和工作溫度密切相關(guān)，因而要同時制作加熱元件和溫度探測元件，以監(jiān)測和控制溫度。MEMS技術(shù)很容易將氣敏元件和溫度探測元件制作在一起，保證氣體傳感器優(yōu)良性能的發(fā)揮。

放大器504C5NRSS2-672 with ELFP09210P-Q CONTROLS

放大器504C5NRSS2-673 with ELFP09210 P-Q CONTROLS
電控手柄M115-1526P-Q CONTROLS
電控手柄M115-SL-15-FD-56-ORP-Q CONTROLS
減速器8SD132720AuburnGear
OFITE  比重計 115-00
NOV 平衡皮帶 15320

DODGE BASE/066231/P4B-SD-215軸承 美國
DODGE BASE/066268/p4b-sd-215e軸承 美國
DODGE BASE/066235/p4b-sd-307軸承 美國
DODGE BASE/066272/ P4B-SD-307E軸承 美國

諧振式氣敏傳感器不需要對器件進(jìn)行加熱，且輸出信號為頻率量，是硅微氣敏傳感器發(fā)展的重要方向之一。北京大學(xué)微電子所提出的1種微結(jié)構(gòu)氣體傳感器，由硅梁、激振元件、測振元件和氣體敏感膜組成。硅梁被置于被測氣體中后，表面的敏感膜吸附氣體分子而使梁的質(zhì)量增加，使梁的諧振頻率減小。這樣通過測量硅梁的諧振頻率可得到氣體的濃度值。對NO2氣體濃度的檢測實驗表明，在0×10～1×10的范圍內(nèi)有較好的線性，濃度檢測極限達(dá)到1×10，當(dāng)工作頻率是19kHz時，靈敏度是1.3Hz/10。德國的M.Maute等人在SiNx懸臂梁表面涂敷聚合物PDMS來檢測己烷氣體，得到－0.099Hz/10的靈敏度。