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臺階儀（探針式表面輪廓儀）

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更新時間：2021-03-22 15:17:52瀏覽次數(shù)：999次

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武漢賽斯特精密儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

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臺階儀（探針式表面輪廓儀）根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。

詳細(xì)介紹

臺階儀（探針式表面輪廓儀）

臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器 [1] 。根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測量原理是：當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時，還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號經(jīng)測量電橋后，輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號。經(jīng)放大與相敏整流后，可將位移信號從調(diào)幅信號中解調(diào)出來，得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進(jìn)一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號以及波度等因素對粗糙度測量的影響。

臺階儀（探針式表面輪廓儀）

規(guī)格

測量技術(shù) 探針輪廓技術(shù)

測量功能二維表面輪廓測量

可選三維測量/

樣品視景可選放大倍率, 1 to 4mm FOV

探針傳感器低慣量傳感器（LIS 3）

探針壓力使用LIS 3傳感器：1 至 15mg

低作用力（選配）使用N-Lite+低作用力傳感器：0.03至 15mg

探針選項探針曲率半徑可選范圍： 50nm至25μm

高徑比（HAR）針尖：10μm x 2μm和200μm x 20μm;

可按客戶要求定制針尖