RGA系列殘余氣體分析儀

可以定量和定性分析出真空腔中殘余氣體的濃度和成分。

◇100，200，和300amu
◇優(yōu)于1amu的分辨率
◇6個(gè)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍
◇可檢測(cè)5 x 10^-14Torr

◇實(shí)時(shí)RGA Windows和LabVIEW軟件
◇質(zhì)譜，泄漏檢測(cè)和壓力對(duì)時(shí)間方式
◇現(xiàn)場(chǎng)可更換的電子倍增器和燈絲
◇RS232計(jì)算機(jī)接口

殘余氣體分析儀（RGA）劃分為100、200、300amu三種型號(hào)，其優(yōu)異的性能使其成為真空分析儀中產(chǎn)品。每一個(gè)RGA系統(tǒng)都由一個(gè)四級(jí)桿探針和電子控制單元組成，實(shí)時(shí)分析windows軟件包可以更方便用于數(shù)據(jù)采集和分析，并可進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。

探測(cè)器類(lèi)型 標(biāo)準(zhǔn)法拉第杯(FC), 可選電子倍增 (EM)
分辨率 優(yōu)于0.5amu
靈敏度(A/Torr) 2 × 10⁻⁴ (FC), <200 (EM).
探測(cè)限 5 × 10⁻¹¹ Torr (FC),
5 × 10⁻¹⁴ Torr (EM)
測(cè)試范圍 10⁻⁴ Torr to UHV (FC)
10⁻⁶ Torr to UHV (EM)
操作溫度 70 °C (max.)
工作溫度 300 °C (without ECU)