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晶圓鍵合應(yīng)用于晶圓臨時(shí)性鍵合工藝

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產(chǎn)品簡介

加工定制	否

晶圓鍵合配有高精度機(jī)械手，可自動(dòng)撕除晶圓臨時(shí)鍵合所用到的膠膜
解鍵合機(jī)可自動(dòng)為晶圓貼覆切割膜
可選配嵌入式紫外線照射模塊
工控機(jī)+Windows系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

晶圓鍵合應(yīng)用于晶圓臨時(shí)性鍵合wafer debonding工藝

Wafer Debonding晶圓鍵合特點(diǎn)：

4”-8”/8”-12”晶圓適用，可應(yīng)對(duì)薄晶圓鍵合。

晶圓鍵合智能測繪料籃內(nèi)晶圓，兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料。

晶圓鍵合可對(duì)已鍵合晶圓進(jìn)行自動(dòng)校正

可定制真空熱壓/UV/激光等方式實(shí)現(xiàn)解鍵合（Wafer Debonding)

晶圓鍵合配有高精度機(jī)械手，可自動(dòng)撕除晶圓臨時(shí)鍵合所用到的膠膜

解鍵合機(jī)可自動(dòng)為晶圓貼覆切割膜

可選配嵌入式紫外線照射模塊

工控機(jī)+Windows系統(tǒng)

SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力

晶圓鍵合Wafer Debonding規(guī)格參數(shù)：

晶圓鍵合機(jī) wafer debonding系列

晶圓尺寸 4”-8”/8”-12”

支持基板玻璃

激光/UV/加熱器可選

晶圓切割膜覆蓋搭載

解鍵合機(jī)撕膜模塊搭載

晶圓盒形式兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料

其他 SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力

Wafer Debonding晶圓鍵合相關(guān)產(chǎn)品：

衡鵬供應(yīng)

超薄晶圓支持系統(tǒng)/超薄晶圓臨時(shí)鍵合/wafer bonding/wafer debonding/wafer bonder/晶圓鍵合

關(guān)鍵詞：工控機(jī) 加熱器



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