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3軸機(jī)械臂真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂

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更新時(shí)間：2024-06-12 09:09:43瀏覽次數(shù)：92次

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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司

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產(chǎn)品簡介

真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂特點(diǎn)：真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂SVCR3000系

詳細(xì)介紹

真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂特點(diǎn)：

真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂SVCR3000系。適用于真空腔室內(nèi)的晶圓搬運(yùn)

相比SVHR系列機(jī)械手臂，可搬運(yùn)質(zhì)量提升2倍，具有較好的性價(jià)比優(yōu)勢(shì)

另外還保持了和SVHR系列機(jī)械手臂的兼容性，方便客戶對(duì)設(shè)備進(jìn)行升級(jí)改造

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長:160mm, 190mm, 260mm, 330mm

手臂關(guān)節(jié)處使用磁流體密封裝置

真空密封：磁流體密封裝置和波紋管

提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝5µm級(jí)過濾器

配備動(dòng)作監(jiān)視器

控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式

全軸采用2相步進(jìn)電機(jī)

S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓

可以選配2相步進(jìn)電機(jī)規(guī)格

手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)

晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式

可以針對(duì)搬運(yùn)物體，客戶設(shè)備布局的實(shí)際情況提供的手指

真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂基本參數(shù)：

使用環(huán)境	真空部：溫度 15℃～50℃ 驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部：潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境溫度 15℃～40℃
手臂	單臂
到達(dá)距離	520mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸行程	20mm / 40mm
可搬運(yùn)質(zhì)量	2kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))