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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司
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所 在 地上海
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更新時間：2024-06-11 09:26:12瀏覽次數(shù)：178次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線MIS-CA1804T/MIS-CA1303T半導體用光掩模缺陷檢查裝置特點：高速
MIS-CA1804T/MIS-CA1303T半導體用光掩模缺陷檢查裝置特點： |
高速，高感度Die-DB檢查 |
可以很靈敏的檢測出CD缺陷 |
可以離線回放檢查 （如果需要在離線回放檢查時同時進行處理，需要另外追加 PC設備） |
可以進行Die和DB檢查領域的混合檢查（選配項） Allowed combination inspection of Die-DB and Die-Die |
可以對應MIS-CA1804T / 180nm設計規(guī)則 （最小檢出缺陷尺寸：250nm） |
可以對應MIS-CA1303T / 130nm設計規(guī)則 （最小檢出缺陷尺寸：180nm） |
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