MET80L/MET120L晶圓觀察顯微鏡概要：MET80L/MET120L晶圓觀察顯微鏡采用靈活的模塊化設(shè)計、不僅確保的光學(xué)性能，還具有安全穩(wěn)定的機架結(jié)構(gòu)，使之低重心、高剛性、高穩(wěn)定性，極大的提高了顯微鏡的抗振能力，使MET80L/MET120L晶圓觀察顯微鏡可廣泛的應(yīng)用于工業(yè)檢測及大型試樣檢測，特別是LCD液晶屏行業(yè)、晶圓行業(yè)的理想檢測工具

詳細介紹

MET80L/MET120L晶圓觀察顯微鏡概要：

MET80L/MET120L 晶圓觀察顯微鏡采用靈活的模塊化設(shè)計、不僅確保的光學(xué)性能，還具有安全穩(wěn)定的機架結(jié)構(gòu)，使之低重心、高剛性、高穩(wěn)定性，極大的提高了顯微鏡的抗振能力，使 MET80L/MET120L 晶圓觀察顯微鏡可廣泛的應(yīng)用于工業(yè)檢測及大型試樣檢測，特別是 LCD 液晶屏行業(yè)、晶圓行業(yè)的理想檢測工具。

MET80L/MET120L晶圓觀察顯微鏡特點：

采用前置低位粗微同軸調(diào)焦系列，配合渦輪渦桿的自鎖結(jié)構(gòu)，使之在超大負荷工作下也不會出現(xiàn)下滑現(xiàn)象，

以及長期使用的可靠性

超大行程移動平臺，移動范圍: 305mmX305mm, 可適用于 12"的晶圓、LCD 或FPD 檢測，

也可用于小尺寸樣品的陳列檢測，通過切換離合器手柄可實現(xiàn)全行程范圍內(nèi)的快速移動。

多樣的照明器可供選擇：12V50W 鹵素?zé)裘鲌雎渖湔彰鳎?2V50W 鹵素?zé)裘靼祱雎渖湔彰?，LED明場落射

照明，可以根據(jù)需要選擇，電器全部內(nèi)置主機，方便操作。

高精度物鏡轉(zhuǎn)換器：采用精密軸承設(shè)計，秉承了麥克奧迪輕巧舒適的手感和良好的重復(fù)定位精度及同心精度。

MET80L/MET120L晶圓觀察顯微鏡的規(guī)格參數(shù)

	MET80L	MET120L
光學(xué)系統(tǒng)	CCIS 無限遠色差校正光學(xué)系統(tǒng)
目鏡	高眼點平場大視野，±5D 視度調(diào)節(jié)，10X/20，明場可選（10X/22）
物鏡	長距明場金相物鏡 5X/0.13，10X/0.30，20X/0.40
觀察筒	30°傾斜鉸鏈式雙目鏡筒；30°傾斜鉸鏈式三目鏡筒
雙目鏡筒瞳距	55~75mm
樣品厚度	≥ 38mm
物鏡轉(zhuǎn)換器	內(nèi)定位五孔物鏡轉(zhuǎn)換器
中間體	12V50W 鹵素?zé)裘鲌雎渖湔彰鳎?/p> 12V50W 鹵素?zé)裘靼祱雎渖湔彰鳎?/p> LED 明場落射照明，全部采用反射式柯拉照明，帶可調(diào)式可變視場光欄和可變孔徑光欄，可配偏光附件
偏光附件	附件式，檢偏器可 360 度旋轉(zhuǎn)，消光比≥ 10000
粗微動調(diào)焦裝置	粗微同軸調(diào)焦，粗動調(diào)焦 3mm/ 轉(zhuǎn)，微動調(diào)焦 0.1mm/ 轉(zhuǎn)，0.001mm/ 格。
機械移動載物臺	移動范圍 : 8"X 8"mm 選配：圓晶臺板	移動范圍 : 8"X 8"mm 選配：圓晶臺板