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壓力傳感器

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更新時間:2022-10-12 15:01:09瀏覽次數(shù):578

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產(chǎn)品簡介

加工定制 輸出信號 其他
制作工藝 其他    
半導(dǎo)體壓電阻抗擴(kuò)散壓力傳感器是在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力,通過外力(壓力)使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗效果,從而使阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電信號.

詳細(xì)介紹

ATOS阿托斯E-ATR-7/160/I壓力傳感器是工業(yè)實踐中zui為常用的一種傳感器。一般普通的輸出為模擬信號,模擬信號是指信息參數(shù)在給定范圍內(nèi)表現(xiàn)為連續(xù)的信號。 或在一段連續(xù)的時間間隔內(nèi),其代表信息的特征量可以在任意瞬間呈現(xiàn)為任意數(shù)值的信號。而我們通常使用的壓力傳感器主要是利用壓電效應(yīng)制造而成的,這樣的傳感器也稱為壓電傳感器。
是使用的一種傳感器。傳統(tǒng)的傳感器以機(jī)械結(jié)構(gòu)型的器件為主,以彈性元件的形變指示壓力,但這種結(jié)構(gòu)尺寸大、質(zhì)量重,不能提供電學(xué)輸出。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體傳感器也應(yīng)運(yùn)而生。其特點是體積小、質(zhì)量輕、準(zhǔn)確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體傳感器向著微型化發(fā)展,而且其功耗小、可靠性高。
半導(dǎo)體壓電阻型
ATOS阿托斯E-ATR-7/160/I半導(dǎo)體壓電阻抗擴(kuò)散傳感器是在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力,通過外力(壓力)使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗效果,從而使阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電信號。
靜電容量型
靜電容量型傳感器,是將玻璃的固定極和硅的可動極相對而形成電容,將通過外力(壓力)使可動極變形所產(chǎn)生的靜電容量的變化轉(zhuǎn)換成電氣信號。 (E8Y的動作原理便是靜電容量方式,其他機(jī)種采用半導(dǎo)體方式)。
2四個無法避免的誤差
在選擇傳感器的時候我們要考慮他的綜合精度,而的精度受哪些方面的影響呢?其實造成傳感器誤差的因素有很多,下面我們注意說四個無法避免的誤差,這是傳感器的初始誤差。
首先的偏移量誤差:由于在整個壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定,因此變換器擴(kuò)散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
其次是靈敏度誤差:產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過程的變化。
第三是線性誤差:這是一個初始誤差影響較小的因素,該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線稱重傳感器。
zui后是滯后誤差:在大多數(shù)情形中,滯后誤差*可以忽略不計,因為硅片具有很高的機(jī)械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
這個四個誤差是無法避免的,我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設(shè)備,利用*來降低這些誤差,還可以在出廠的時候進(jìn)行一點的誤差校準(zhǔn),盡zui大的可能來降低誤差以滿足客戶的需要。
3安裝問題
正確安裝
通常高溫熔體傳感器的損壞都是由于其安裝位置不恰當(dāng)而引起的,如果將傳感器強(qiáng)行安裝在過小的孔或形狀不規(guī)則的孔中,就有可能造成傳感器的震動膜受到?jīng)_擊而損壞,選擇合適的工具加工安裝孔,有利于控制安裝孔的尺寸,另外,合適的安裝扭矩有利于形成良好的密封,但是如果安裝扭矩過高就容易引起高溫熔體傳感器的滑脫,為防止這種現(xiàn)象發(fā)生,通常在傳感器安裝之前在其螺紋部分上涂抹防脫化合物。
1. 正確安裝方法:
(1) 通過適當(dāng)?shù)膬x表, 在普通大氣壓和標(biāo)準(zhǔn)溫度條件下,核實傳感器的頻率反應(yīng)值。
(2) 核實傳感器的編碼與相應(yīng)的頻率反應(yīng)信號的正確性。
2. 確定具體安裝位置
為了確定傳感器的編號和具體安裝位置, 需按充氣網(wǎng)的各個充氣段來考慮。
(1) 必須沿著線纜進(jìn)行安裝, 安裝在線纜接頭處。
(2) 每條線纜裝設(shè)不少于4個, 靠近局的兩個, 相距不應(yīng)大干200m。
(3) 每條線纜的始端和末端分別安裝1個。
(4) 每條線纜的分支點應(yīng)裝1個, 如果兩個分支點相距較近(小于100 m),可只裝1個。

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