該儀器本身不使用機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件，因此在連續(xù)操作下也非?？煽俊Ｋ鼮槊總€(gè)晶圓片提供完整的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，這為提高生產(chǎn)線的成本效益和效率提供了新的途徑，而這些都是迄今為止*的。例如，在不到3個(gè)小時(shí)的時(shí)間內(nèi)，對(duì)10000個(gè)晶圓片的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)進(jìn)行自動(dòng)統(tǒng)計(jì)評(píng)估，結(jié)果可以顯示出晶體生長(zhǎng)爐的性能和材料質(zhì)量的各種細(xì)節(jié)。

實(shí)時(shí)的質(zhì)量檢測(cè)可以幫助提高和優(yōu)化諸如擴(kuò)散和鈍化等處理步驟。在運(yùn)產(chǎn)品達(dá)到的性能。

優(yōu)勢(shì)介紹

◆ 在不到一秒的時(shí)間內(nèi)，可對(duì)一個(gè)晶圓片進(jìn)行全電特性測(cè)試。測(cè)量參數(shù)：載流子壽命(拓?fù)鋱D)、電阻率(雙線掃描)。

◆在非常短的時(shí)間內(nèi)獲得數(shù)以千計(jì)的晶圓片的統(tǒng)計(jì)信息可有效地幫助晶圓廠控制過(guò)程和生產(chǎn)。

◆適用于測(cè)量晶圓片的材料質(zhì)量，以及識(shí)別晶圓片層面的結(jié)晶問(wèn)題，例如在光伏行業(yè)。

◆適用于擴(kuò)散過(guò)程的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。

技術(shù)參數(shù)

樣品厚度	100 μm up to 1 mm
樣品尺寸	在125 x 125 和210 x 210 mm2 之間，或 4”到18”
電阻率	0.2 - 103 Ohm cm
傳導(dǎo)類型	p, n
材質(zhì)	硅晶圓，部分或*加工的晶圓片，復(fù)合半導(dǎo)體等
測(cè)量性能	少數(shù)載流子壽命（穩(wěn)態(tài)或非平衡(μ-PCD)可選擇的）
測(cè)量位置	默認(rèn)2.8 mm，其它可選
檢測(cè)時(shí)間	獲得完整的一張晶圓圖時(shí)間小于1秒
尺寸	400 x 400 x 450 mm，重量：29 kg
電源	24 V DC, 4 A

其它細(xì)節(jié)

· 允許單片控制

· 參數(shù)自動(dòng)設(shè)置，預(yù)定義的排序菜單

· 多達(dá)15個(gè)質(zhì)量等級(jí)的晶圓片自動(dòng)分揀

· 監(jiān)控材料質(zhì)量、工藝的完整性和穩(wěn)定性

· 快速提升工藝和生產(chǎn)線

關(guān)鍵詞：生長(zhǎng)爐

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，環(huán)保在線對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。溫馨提示：為規(guī)避購(gòu)買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購(gòu)買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

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