FEI掃描電子顯微鏡Inspect S50技術參數(shù)
1.電子槍：高亮度、方便維護的鎢燈絲電子槍
2.分辨率:
二次電子:
（1）高真空模式 3.0nm @ 30kV; 8nm @ 3kV
（2）高真空減速模式 7nm @ 3kV (可選項)
（3）低真空模式 3.0nm @ 30kV; 10nm @ 3kV
背散射電子:
（1）4.0nm @ 30kV
3.加速電壓：200 V - 30 kV, 連續(xù)可調(diào)
4.探測器：E-T二次電子探測器，可選?散射探測器
5. 50x50mm 4軸馬達驅動全對中樣品臺

FEI掃描電子顯微鏡Inspect S50主要特點
1.分子泵真空系統(tǒng)
2.高穩(wěn)定性、高亮度鎢燈絲電子槍，滿足高分辨觀察和微觀分析的要求
3.FEI的LFD低真空二次電子探測器
4.可同時安裝能譜儀、波譜儀和EBSP系統(tǒng)
5.基于Windows XP的圖形用戶界面, 簡單易用