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TFMS-IV系列緊湊型高精度反射膜厚儀

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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

TFMS-IV系列緊湊型高精度反射膜厚儀

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：TFMS-IV系列緊湊型高精度反射膜厚儀，利用光學(xué)干涉原理，通過(guò)分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射譜，快速準(zhǔn)確測(cè)量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息。反射膜厚儀廣泛應(yīng)用于各種介質(zhì)保護(hù)膜、有機(jī)薄膜、無(wú)機(jī)薄膜、金屬膜、涂層等薄膜測(cè)量。

產(chǎn)品型號(hào)	TFMS-IV系列緊湊型高精度反射膜厚儀
主要特點(diǎn)	1、光學(xué)薄膜測(cè)量解決方案 2、非接觸、非破壞測(cè)量 3、覆蓋單層到多層薄膜 4、核心算法覆蓋薄膜到厚膜 5、配置靈活、支持定制化 6、采用高強(qiáng)度鹵素?zé)艄庠?，光譜覆蓋可見(jiàn)光到近紅外范圍 7、采用光機(jī)電高度整合一體化設(shè)計(jì)，體積小，操作簡(jiǎn)便 8、基于薄膜層上界面與下界面的反射光相干涉原理，輕松解析單層薄膜到多層 9、配置強(qiáng)大核心分析算法：FFT分析厚膜、曲線(xiàn)擬合分析法分析薄膜的物理參數(shù)信息
技術(shù)參數(shù)	型號(hào)		TFMS-IV	TFMS-IV（可選）
	基本功能		獲取薄膜厚度值以及R、N/K（可選）等光譜
	光譜波長(zhǎng)范圍		380-800nm	650-1100nm（可選）
	測(cè)量厚度范圍		50nm-20um	100nm-200um（可選）
	測(cè)量時(shí)間		<1s
	光斑尺寸		0.5-3mm
	重復(fù)精度		0.1nm（100nmSiO₂/Si）
	精度		±1nm or 0.5%
	入射角方式		垂直入射
可選配件	1	溫控臺(tái)
	2	Mapping擴(kuò)展模塊
	3	真空泵