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SE-L光譜橢偏儀紫外光譜儀

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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SE-L光譜橢偏儀

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：SE-L光譜橢偏儀是一款全自動(dòng)高精度光譜橢偏儀，集眾多科技技術(shù)，采用行業(yè)前沿創(chuàng)新技術(shù)，配置全自動(dòng)測(cè)量模塊。通過(guò)橢偏參數(shù)、透射/反射率等參數(shù)的測(cè)量，快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)參數(shù)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的表征分析。SE-L光譜橢偏儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體薄膜結(jié)構(gòu)：介電薄膜、金屬薄膜、高分子、光刻膠、硅、PZT膜，激光二極管GaN和AlGaN、透明的電子器件、平板顯示、光伏太陽(yáng)能、功能性涂料、生物和化學(xué)工程、塊狀材料分析等領(lǐng)域。

產(chǎn)品型號(hào)	SE-L光譜橢偏儀
主要特點(diǎn)	1、高精度自動(dòng)測(cè)量光學(xué)橢偏測(cè)量解決方案 2、全自動(dòng)變角、調(diào)焦等控制平臺(tái)，一鍵快速測(cè)量 3、軟件交互式界面配合輔助向?qū)皆O(shè)計(jì)，易上手、操作便捷 4、豐富的數(shù)據(jù)庫(kù)和幾何結(jié)構(gòu)模型庫(kù)，保證強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析能力 5、采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm) 6、高精度旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制、PCRSA配置，實(shí)現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集 7、全自動(dòng)橢偏測(cè)量技術(shù)，基于行業(yè)電機(jī)控制技術(shù)，全自動(dòng)調(diào)整測(cè)量角度，高精度控制樣件臺(tái)，實(shí)現(xiàn)樣件快速自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)找焦 8、頤光技術(shù)確保在寬光譜范圍內(nèi)，提供優(yōu)質(zhì)穩(wěn)定的各波段光譜 9、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫(kù)、多種算法模型庫(kù)，涵蓋了目前絕大部分的光電材料
技術(shù)參數(shù)	1、自動(dòng)化程度：自動(dòng)變角 2、應(yīng)用定位：自動(dòng)型 3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜 4、分析光譜：380-1000nm(可擴(kuò)至193-2500nm) 5、單次測(cè)量時(shí)間：0.5-5s 6、重復(fù)性測(cè)量精度：0.01nm 7、光斑大小：大光斑2-3mm,微光斑200um 8、入射角調(diào)節(jié)方式：自動(dòng)變角 9、入射角范圍：45-90° 10、找焦方式：自動(dòng)找焦 11、Mapping行程：支持100x100mm(可選配) 12、支持樣件尺寸：大至200mm
可選配置	波段選擇 V:380-1000nm UV:245-1000nm XN:210-1650nm DN+:193-2500nm 角度選擇自動(dòng):45-90° 其他選擇 Mapping選擇:100×100mm(供參考,按需定制) 溫控臺(tái):室溫一600℃(供參考,按需定制)
可選配件	1	溫控臺(tái)
	2	Mapping擴(kuò)展模塊
	3	真空泵
	4	透射吸附組件