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SKCC-GZB-X高真空磁控濺射永磁靶頭（公、自旋轉(zhuǎn)靶頭）

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更新時(shí)間：2020-12-18 11:42:56瀏覽次數(shù)：272次

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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SKCC-GZB-X高真空磁控濺射永磁靶頭（公、自旋轉(zhuǎn)靶頭）

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：SKCC-GZB-X高真空磁控濺射永磁靶頭（公、自旋轉(zhuǎn)靶頭）適用靶材種類較廣，如金屬/絕緣靶或磁性/非磁性靶材。配裝有環(huán)形永磁體在靶頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性?？膳cDC或RF電源配合使用。

產(chǎn)品型號(hào)	SKCC-GZB-X（高真空磁控濺射公、自旋轉(zhuǎn)靶頭）
產(chǎn)品規(guī)格	1寸，SKCC-GZB-1 2寸，SKCC-GZB-2 3寸，SKCC-GZB-3 4寸，SKCC-GZB-4 注：其它尺寸可以訂制
主要特點(diǎn)	1、轉(zhuǎn)靶帶擋板（可實(shí)現(xiàn)每次露出一個(gè)工作的靶，避免交叉污染）； 2、采用電磁場(chǎng)的有元計(jì)算法來(lái)設(shè)計(jì)永磁體，以得到較高的磁場(chǎng)強(qiáng)度和均勻分布； 3、轉(zhuǎn)靶轉(zhuǎn)速5~60轉(zhuǎn)/分可調(diào)； 4、標(biāo)準(zhǔn)的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配； 5、安裝采用標(biāo)準(zhǔn)真空法蘭（CF金屬密封或Dg膠圈密封可選）； 6、靶材更換較為簡(jiǎn)單，無(wú)需調(diào)整濺射頭的高度。
配套電源	1、直流DC；2、射頻RF