緊湊的結(jié)構(gòu)；兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動；高等院校/研究所/工業(yè)用戶實驗室使用；可用于12英寸以內(nèi)樣品測試；精密絲杠傳動結(jié)構(gòu)，線性移動；無回程差設計；1微米以上電極/PAD測試；VCSEL/LD/LED/PD的光譜波長/光功率測試；VCSEL/LD/LED/PD 的LIV特性測試；器件的高頻特性測試

詳細介紹

產(chǎn)品特性

1. 緊湊的結(jié)構(gòu)

2. 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動

3. 高等院校/研究所/工業(yè)用戶實驗室使用

4. 可用于12英寸以內(nèi)樣品測試

5. 精密絲杠傳動結(jié)構(gòu)，線性移動

6. 無回程差設計

7. 1微米以上電極/PAD測試

8. VCSEL/LD/LED/PD的光譜波長/光功率測試

9. VCSEL/LD/LED/PD 的LIV特性測試

10. 器件的高頻特性測試

主要技術指標

型號			LS-WPS100-SE	LS-WPS150-SE	LS-WPS200-SE	LS-WPS300-SE
外形			580mm長* 620mm寬* 730mm高	600mm長* 700mm寬* 730mm高	660mm長* 660mm寬* 700mm高	1030mm長* 820mm寬* 730mm高
重量			約70公斤	約80公斤	約85公斤	約180公斤
電力需求			220VC, 50~60Hz
樣品臺		尺寸	4英寸，可360度旋轉(zhuǎn)	6英寸，可360度旋轉(zhuǎn)	8英寸，可360度旋轉(zhuǎn)	12英寸，可360度旋轉(zhuǎn)
		X-Y行程	4*4英寸	6*6英寸	8*8英寸	12*12英寸
		Z軸行程	6mm（快速切換）/6mm（微調(diào)）
		移動精度	10um/1um
		樣品固定方式	真空吸附
		背電極測試功能	有，樣品臺電學獨立懸空
針座平臺			U型平臺，多可放置6個針座	U型平臺，多可放置8個針座	U型平臺，多可放置10個針座	U型平臺，多可放置12個針座
光學特性	顯微鏡行程		X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm
	顯微鏡移動精度		1um
	切換鏡頭方式		顯微鏡快速傾仰30度
	放大倍數(shù)		16~100X/20~4000X
	鏡頭規(guī)格		目鏡：10X；物鏡：5X，10X，20X，50X，100X（選配）
	CCD像素		50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）
點針規(guī)格	X-Y-Z行程		12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
	機械精度		10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
	漏電精度		10pA/100fA（配置屏蔽箱時）
	接口形式		香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口
應用方向			VCSEL芯片及LD/LED/PD測試，PCB/封裝器件測試，射頻測試等。