建造

從三點支撐觸點提取信號的測頭會根據(jù)觸摸方向改變測量壓力。
另外，由于該影響，在輸出觸摸信號之前行進的距離將改變。

信號延遲

機器側的延遲和預行程的組合元素是作為測頭系統(tǒng)的延遲量。

重復精度

• 單向重復性
  用專yong設備測量單向重復性
  通常，對于CNC機床，2σ值為1μm。
• 測試方法
  沿一個方向觸摸以測量30次測量的可重復性由于
  測量數(shù)據(jù)是正態(tài)分布的，因此用2σ的標準偏差表示。

行程前量

• 接觸式探針采用了shou個利用激光反射的傳感技術，
  我們成功地將延遲時間=行程前量的變化（標準產品80μm→該產品3μm）降到z低。
• 行程前變化2D測量
  每次在36個點處測量環(huán)規(guī)
  繪制與真實值的差并分析z大小值2μm至50μm
• 
  在1296個點處測量的形狀誤差3D測量參考球體
  繪制與真實值的差并分析z大-小值2μm至180μm

精密測頭精度