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當(dāng)前位置：秋山科技（東莞）有限公司>>其他設(shè)備>>涂布機(jī)>> SC-701AT日本sanyu electron臺式快速涂布機(jī)
產(chǎn)品型號SC-701AT
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地東莞市
更新時間：2024-03-19 07:14:58瀏覽次數(shù)：1778次
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陳霞
日本sanyu electron臺式快速涂布機(jī)SC-701AT
特征
排氣→涂層（蝕刻）→全自動，直到進(jìn)入大氣
盡管是緊湊型，但仍可以進(jìn)行膜厚控制（簡單型）
全自動濺射設(shè)備，操作簡便，重現(xiàn)性高
配備涂層/蝕刻模式
應(yīng)用/結(jié)果示例
各種設(shè)備的電極膜附件
用于制造反射薄膜等的應(yīng)用
日本sanyu electron臺式快速涂布機(jī)SC-701AT
基本規(guī)格
| 陰極 | φ2英寸/ 2極面對電極 |
| 濺射靶 | 包含金靶 |
| 蝕刻目標(biāo) | 包括Al目標(biāo) |
| 膜厚設(shè)定方法 | 預(yù)設(shè)方法/帶膜厚監(jiān)視器的數(shù)字顯示 |
| 氣體導(dǎo)入機(jī)制 | 針閥 |
| 真空泵 | 直連式旋轉(zhuǎn)泵：20l / min（帶自動泄漏） |
| 排氣操作 | 自動的 |
| 箱體尺寸 | 內(nèi)徑φ120mm x D120 mm（SUS制） |
| 樣品交換方法 | 前門開合式 |
| 尺寸（寬/深/高） | 主體：225/420 / 320mm RP：300/160 / 200mm |
| 重量 | 身體：15公斤 RP：9公斤 |
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