西安低溫等離子廢氣處理設(shè)備低溫等離子體主要是由氣體放電產(chǎn)生的。氣體放電就是指通過(guò)某種機(jī)制使一個(gè)或幾個(gè)電子從氣體原子或分子中電離出來(lái)，使之形成電離氣體。然后電離氣體由外電場(chǎng)產(chǎn)生并形成傳導(dǎo)電流（即氣體放電現(xiàn)象），從而獲得等離子體。放電方式有輝光放電、電暈放電、介質(zhì)阻擋放電、射頻放電及微波放電等。

西安低溫等離子廢氣處理設(shè)備由于低溫等離子體中存在著很多活性很高的粒子如電子、粒子、活性基團(tuán)等，所以它的化學(xué)活性很高，而能跟許多難降解的污染物發(fā)生反應(yīng)，使被處理的污染物得以轉(zhuǎn)化或分解。低溫等離子體的凈化機(jī)理是使數(shù)萬(wàn)度的高能電子與氣體原子或分子發(fā)生非彈性碰撞，從而使氣體通過(guò)激發(fā)、離解和電離等一系列過(guò)程活化。

利用低溫等離子體處理廢氣時(shí)，等離子體內(nèi)部會(huì)發(fā)生各種類型的化學(xué)反應(yīng)，這主要取決于電子的平均能量、電子密度、氣體溫度、污染物氣體分子濃度及共存的氣體成分等因素。一般說(shuō)來(lái)，當(dāng)電子能量＜10eV時(shí)會(huì)產(chǎn)生活性自由基，被等離子體活化后的污染物分子經(jīng)過(guò)等離子體定向鏈化學(xué)反應(yīng)后被脫除；而當(dāng)電子平均能量大于污染物分子化學(xué)鍵能時(shí)，污染物就會(huì)因?yàn)榛瘜W(xué)鍵的斷裂而分解。電子能量＜10eV時(shí)會(huì)產(chǎn)生活性自由基，被等離子體活化后的污染物分子經(jīng)過(guò)等離子體定向鏈化學(xué)反應(yīng)后被脫除；而當(dāng)電子平均能量大于污染物分子化學(xué)鍵能時(shí)，污染物就會(huì)因?yàn)榛瘜W(xué)鍵的斷裂而分解。