使用范圍：
S48 300/HMT 質(zhì)量流量計(jì) 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等行業(yè)的氣流測量與控制。
1.2 質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)
質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC)，具備流量測量和流量控制兩種功能。
質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)，只有流量測量功能，不具備氣流控制功能。
1.3 S48 300/HMT質(zhì)量流量計(jì) 的特點(diǎn)
☆ S48 300/HMT型質(zhì)量流量計(jì) 是在引進(jìn)HORIBA STEC技術(shù)基礎(chǔ)上，結(jié)合國內(nèi)需要而研制的一種數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品，采用當(dāng)今*的32位ARM系列處理器做數(shù)字控制。具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過沖小等特點(diǎn)。
☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）開放協(xié)議。協(xié)議簡單可靠，兼容性強(qiáng)，易于組網(wǎng)。配合上位機(jī)，可進(jìn)行各種復(fù)雜的計(jì)量、控制操作及組態(tài)。
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。
☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強(qiáng)。
☆可任意角度安裝。
☆兼容數(shù)字和模擬控制及顯示，使用方便。易于與電氣或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。配合MT-50或51系列流量顯示儀，可對氣流的瞬時(shí)流量進(jìn)行精確測量和計(jì)量。
S48 300/HMT數(shù)字流量控制器技術(shù)指標(biāo)
編號(hào) | 項(xiàng)目 | S48 300/HMT |
1 | 流量規(guī)格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min |
2 | 調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 |
3 | 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) | 常閉 |
4 | 安裝角度 | 任意 |
5 | 流量控制范圍 | 2%-99%F.S. |
6 | 流量測量范圍 | 0-99%F.S. |
7 | 響應(yīng)時(shí)間 | ≤ 1 sec |
8 | 工作環(huán)境溫度 | 5-50℃ |
9 | 精度保證溫度 | 15-35℃ |
10 | 精度 | ±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.) |
11 | 線性精度 | ±0.5%F.S. |
12 | 重復(fù)性 | ±0.2%F.S. |
13 | 工作壓差 | -5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D) |
14 | 耐壓 | 3MPa(G) |
15 | 泄漏率 | ＜1×10-8Pa·m3/s(He) |
16 | 接觸氣體材料 | 316L，Viton? 氟橡膠，PTFE |
17 | 管路接頭 | Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″ |
18 | 供電電源 | ±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA |
19 | 設(shè)定信號(hào) | 數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，輸入阻抗＞10kΩ |
20 | 流量輸出信號(hào) | 數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，負(fù)載能力≤3mA |
21 | 通訊接口 | 數(shù)字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 協(xié)議從機(jī)，設(shè)備號(hào)可選范圍0-15 |
22 | 重量(kg) | 0.9 |
4.2 訂貨規(guī)范
在訂貨時(shí)應(yīng)指明是質(zhì)量流量控制器還是質(zhì)量流量計(jì)，指明S48 300/HMT產(chǎn)品型號(hào)，流量規(guī)格，使用氣體種類，管接頭種類。
例如：MFC(或MFM)-S48 300/HMT(產(chǎn)品型號(hào)) 500mL/min(流量規(guī)格) N2(氣體種類) Φ6(管路接頭)
環(huán)保在線