“閉環(huán)壓力控制"就是指在你的壓力輸出點(diǎn)加一個(gè)檢測(cè)裝置，將壓力數(shù)值與設(shè)定值進(jìn)行比較，比較的結(jié)果傳輸給控制裝置，高降低補(bǔ)，保持壓力恒定。

而質(zhì)量流量控制器(MFC)除了可以測(cè)量和控制質(zhì)量流量，并可以通過調(diào)節(jié)閥門以增加或減少質(zhì)量流量的方式而達(dá)到調(diào)節(jié)壓力的設(shè)定值。

在控制壓力時(shí)，閥門會(huì)根據(jù)壓力測(cè)量值進(jìn)行調(diào)整。假設(shè)，您控制 Alicat 下游的壓力并希望達(dá)到 100 PSIA，如果此時(shí)壓力為 80 PSIA，MFC 將會(huì)自動(dòng)打開閥門，直到壓力達(dá)到您的設(shè)定值。MFC可以同時(shí)控制壓力和測(cè)量流速的應(yīng)用中，這是非常有用的。有些應(yīng)用場(chǎng)景包括泄漏測(cè)試、流量檢查和質(zhì)量檢查，您必須保持特定的流量與壓力曲線。

Alicat 應(yīng)用工程師 Alyssa Jenkins 討論了閉環(huán)壓力控制的特點(diǎn)

使用 MFC 控制壓力的過程

密閉容器過程控制

我們的雙向質(zhì)量流量控制器具有三個(gè)端口（入口、過程、出口）和兩個(gè)閥門（進(jìn)口流量和排氣）。該裝置可用于控制一個(gè)密閉容器的壓力體積，一個(gè)閥門調(diào)節(jié)以增加/減少流量，另一個(gè)閥門可在壓力超過設(shè)定值時(shí)向大氣或真空泵排氣。在控制壓力的同時(shí)，可以使用流量累加器來跟蹤流體流動(dòng)的總量，因此您還可以測(cè)量進(jìn)入容器的每種氣體的質(zhì)量流量。

校準(zhǔn)轉(zhuǎn)子流量計(jì)

轉(zhuǎn)子流量計(jì)測(cè)量體積流量，它們被調(diào)節(jié)在一個(gè)非常特定的壓力，以給出質(zhì)量流量。雖然它們可能以標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘 (SLPM) 或標(biāo)準(zhǔn)立方厘米每分鐘 (SCCM) 進(jìn)行標(biāo)記，但該質(zhì)量流量讀數(shù)僅在轉(zhuǎn)子流量計(jì)調(diào)整好的壓力下有效。另一方面，Alicat 有一個(gè)壓力傳感器，可在壓力變化時(shí)調(diào)整讀數(shù)。

Alicat 質(zhì)量流量裝置可用于控制轉(zhuǎn)子流量計(jì)下游的壓力，同時(shí)直接在質(zhì)量流量計(jì)和轉(zhuǎn)子流量計(jì)上測(cè)量流量。為此，必須調(diào)整 Alicat 的 STP 條件和氣體選擇以匹配轉(zhuǎn)子流量計(jì)。然后可以將 Alicat 上的背壓控制點(diǎn)設(shè)置為等于轉(zhuǎn)子流量計(jì)的出口壓力。這創(chuàng)造了一個(gè)條件，其中 Alicat 控制轉(zhuǎn)子流量計(jì)的壓力，將 Alicat 標(biāo)準(zhǔn)化為可變面積流量計(jì)，然后您可以引入流量來校準(zhǔn)轉(zhuǎn)子流量計(jì)。