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PSM等離子體質(zhì)量和能量分析質(zhì)譜儀

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產(chǎn)品簡介

Hiden plasma probes measure some of the key plasma parameters and provide detailed information relating to plasma reaction chemistry.

詳細介紹

PSM是一臺差式泵質(zhì)譜儀(In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis),分析等離子過程中的二次離子和中性粒子。

 

·差式泵歧管,通過法蘭與過程反應(yīng)室連接

·電子附著選件,具有可調(diào)諧的離子源,用于表觀電勢MS
·Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護
·信號選通分辨率1μs,用于研究脈沖等離子體或能量、質(zhì)量分布VS時間
·標準分析中性粒子、自由基,+ve / -ve 離子分析可選

 

·靈敏度高 / 極穩(wěn)定的3級過濾四極桿

·質(zhì)量數(shù)范圍:     0 ~ 2500amu

·脈沖離子計數(shù)檢測器,7個數(shù)量級的動態(tài)范圍

·能量分析選件,標準 ±100eV1000eV可選

·Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可選, 高壓操作可選
·通過RS232、RS485Ethernet LAN ,軟件MASsoft 控制

Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1 MB)

Mass Analysis of CF3I Decomposition in a Surface Barrier Discharge - GEC 2011 (2.8 MB)

Mass Spectroscopy of Metastable Atomic Species in Gas Analysis and Processing Plasmas at High Spectrometer Source Pressures - AVS 2011 (1.6 MB)

Mass Spectroscopy of Metastable Species during Plasma Processing - GEC 2011 (2.1 MB)

Time Resolved Ionisation Studies of HIPIMS - PSE 2006 (848 KB)

Mass Spectrometry in HiPIMS Plasmas - COST Workshop 2012 (3.2 MB)

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