當(dāng)前位置：海博爾凈化工程有限公司>>>>無塵車間設(shè)計(jì)，硅單晶車間，硅芯片車間

無塵車間設(shè)計(jì)，硅單晶車間，硅芯片車間

返回列表頁

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌其他品牌

廠商性質(zhì)工程商

所在地鄭州市

在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：周先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2019-05-18 09:09:03瀏覽次數(shù)：464次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自環(huán)保在線

產(chǎn)品分類 品牌分類

  醫(yī)藥食品實(shí)驗(yàn)室無菌室

無菌室
  凈化工程

凈化工程地板方案

  其他品牌
  通馳
  梓凈

海博爾凈化工程有限公司

經(jīng)營模式：工程商

商鋪產(chǎn)品：100條

所在地區(qū)：河南鄭州市

聯(lián)系人：周先生（經(jīng)理）

詢價(jià) 給他留言

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)地	國產(chǎn)	凈化級(jí)別	十萬級(jí)

無塵車間設(shè)計(jì)，硅單晶無塵車間，硅芯片無塵車間

詳細(xì)介紹

潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢(shì)。
　　凈化工程具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。
　　濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。

關(guān)鍵詞：凈化工程