測量顯微鏡 107JA
一、用途:
測量顯微鏡107JA采用透、反射的方式對(duì)工件長度和角度作精密測量。特別適用于大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密另件測量。測量顯微鏡107JA廣泛地適用于計(jì)量室,生產(chǎn)作業(yè)線以及科學(xué)研究等部門。
測量顯微鏡107JA進(jìn)一步可連接CCD攝像頭等視頻系統(tǒng),對(duì)工件的輪廓放大后在顯示器上瞄準(zhǔn),提高測量精度。亦可連接計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理等測量。是一種理想的多用途的小型精密測量儀器。
二、技術(shù)規(guī)格
鏡筒 | 粗 動(dòng) | 調(diào)節(jié)范圍 90毫米 |
微 動(dòng) | 調(diào)節(jié)范圍 2毫米 |
高(Z)測量 | 1毫米小讀數(shù)0.001毫米(干分表讀數(shù)) |
鏡 筒 | 雙目鏡筒 俯角45° |
工作臺(tái) | 左右(X軸) | 移動(dòng)范圍50毫米 |
前后(Y)軸 | 移動(dòng)范圍50毫米 |
分 辨 率 | 1微米 |
旋 轉(zhuǎn) | 360° |
照明系統(tǒng) | 光源 | 透射照明 | 8V-15W 藍(lán)、綠濾色片 |
反射照明 | 8V-12W 磨砂燈泡 綠色濾色片 |
斜照明 | 8V-15W |
電 源 | AC 220V±10% 50/60HZ |
光學(xué)系統(tǒng) | 目 鏡 | BWF 10X |
物 鏡 | 4X 工作距離17.5 焦距28.8 |
10X 工作距離11.6 焦距15.4 |
40X 工作距離0.66 焦距4.4 |
測量顯微鏡107JA采用數(shù)顯讀數(shù)頭,操作方便,可靠性強(qiáng)。
可加裝光柵測量尺和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),通過計(jì)算機(jī)接口和二維測量程序可使被測工件的輪廓直接顯示在計(jì)算機(jī)屏幕上,可導(dǎo)入AutoCAD進(jìn)行編輯。
儀器升級(jí):
二維測量程序包括點(diǎn)、線、園、弧、直線度、園度、螺紋、凸輪等測量功能。本儀器放大倍數(shù)高,工作臺(tái)除作X,Y坐標(biāo)的移動(dòng)外,還可以作360°的旋轉(zhuǎn),亦可以進(jìn)行高度方向Z坐標(biāo)的測量。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外,還有斜光線照明。
注:另有測量顯微鏡107JC(數(shù)顯型)可選,(加裝光柵測量尺和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng))