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C60-40 離子源系統(tǒng)

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束蘊(yùn)儀器（上海）有限公司

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C60-40是目前性能較高的C60光束，具有300納米的光斑尺寸和高達(dá)1毫安的束流。從生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用到聚合物科學(xué)和冶金，C60-40都可以做到這一點(diǎn)。得益于與其他C60離子束相同的均勻?yàn)R射，但由于更高的束能量，C60-40具有難以置信的精細(xì)斑點(diǎn)和更高的蝕刻率，是一種用于廣泛應(yīng)用的極其強(qiáng)大的分析工具。

詳細(xì)介紹

下圖顯示了C60-40在正離子模式下獲得的半導(dǎo)體堆棧的3D SIMS圖像。樣品由InSb、Al和GaAs層組成，覆蓋在保護(hù)性光刻膠層中。這種軟有機(jī)、無(wú)機(jī)和硬金屬層的結(jié)合對(duì)于大多數(shù)其他離子束來(lái)說(shuō)是極其困難的。C60-40是這一棘手應(yīng)用的理想選擇，因為它在不同材料上具有一致的濺射速率。C60-40與300 nm的光斑尺寸相結(jié)合，是一種強(qiáng)大的光束，無(wú)論您使用何種類型的樣品，都能在2D和3D中提供較高分辨率。